层叠型压电致动器
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101999180A

    公开(公告)日:2011-03-30

    申请号:CN200980113728.2

    申请日:2009-04-15

    CPC classification number: H01L41/0472

    Abstract: 本发明旨在获得一种不容易因应力而导致外部电极的一部分发生断裂、即使发生断裂也不容易因裂纹的蔓延而导致损坏的、可靠性优异的层叠型压电致动器。在层叠有多个内部电极及多个压电体层的层叠型压电体(2)的外表面形成有外部电极(9),外部电极(9)包括基底电极(10)、以及形成于基底电极(10)上的应力吸收用电极构件(11),应力吸收用电极构件(11)包括在受到外力时发生弹性形变的弹性结构部(11a)、以及固定于基底电极(10)上的固定部(11b、11c),固定部(11b、11c)具有平行于内部电极(6~8)的边缘部分(6a~8a)而延伸的形状,并且该固定部(11b~11g)的宽度方向尺寸为不到沿层叠方向相邻的内部电极。

    层叠型压电致动器
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101999180B

    公开(公告)日:2013-12-25

    申请号:CN200980113728.2

    申请日:2009-04-15

    CPC classification number: H01L41/0472

    Abstract: 本发明旨在获得一种不容易因应力而导致外部电极的一部分发生断裂、即使发生断裂也不容易因裂纹的蔓延而导致损坏的、可靠性优异的层叠型压电致动器。在层叠有多个内部电极及多个压电体层的层叠型压电体(2)的外表面形成有外部电极(9),外部电极(9)包括基底电极(10)、以及形成于基底电极(10)上的应力吸收用电极构件(11),应力吸收用电极构件(11)包括在受到外力时发生弹性形变的弹性结构部(11a)、以及固定于基底电极(10)上的固定部(11b、11c),固定部(11b、11c)具有平行于内部电极(6~8)的边缘部分(6a~8a)而延伸的形状,并且该固定部(11b~11g)的宽度方向尺寸为不到沿层叠方向相邻的内部电极。

Patent Agency Ranking