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公开(公告)号:CN113273169A
公开(公告)日:2021-08-17
申请号:CN202080007622.0
申请日:2020-01-14
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 在本发明的清洗装置中,信号处理电路(20)基于以第一电压(V1)驱动振动部(12)的情况下的共振频率的变化量(Δf)、与由阻抗检测部(70)检测出的阻抗有关的电流值的变化量(ΔI)以及由摄像部(5)拍摄到的图像的时间变化(明度积分值)中的至少2者的信息,来对保护罩(2)的表面附着有异物的情形进行判断,根据该判断来控制振动部(12)以清洗保护罩(2)的表面。
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公开(公告)号:CN113273169B
公开(公告)日:2023-06-06
申请号:CN202080007622.0
申请日:2020-01-14
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 在本发明的清洗装置中,信号处理电路(20)基于以第一电压(V1)驱动振动部(12)的情况下的共振频率的变化量(Δf)、与由阻抗检测部(70)检测出的阻抗有关的电流值的变化量(ΔI)以及由摄像部(5)拍摄到的图像的时间变化(明度积分值)中的至少2者的信息,来对保护罩(2)的表面附着有异物的情形进行判断,根据该判断来控制振动部(12)以清洗保护罩(2)的表面。
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