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公开(公告)号：CN102979706B
公开(公告)日：2016-06-15
申请号：CN201210326158.9
申请日：2012-09-05
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: F04B43/04
CPC classification number: F04B43/043 , F04B45/047
Abstract: 一种流体控制装置，包括振动板单元、驱动体及可挠板。所述振动板单元具有振动板和框板，其中，所述振动板具有第一主面和第二主面，所述框板围住所述振动板的周围。所述驱动体设于所述振动板的所述第一主面，并使所述振动板振动。在所述可挠板上设有孔。此外，所述可挠板与所述振动板的所述第二主面相对，并通过含有多个微粒的粘接剂夹着多个所述微粒而被粘接在所述框板上。
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公开(公告)号：CN102597520B
公开(公告)日：2015-09-02
申请号：CN201180004549.2
申请日：2011-05-16
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: F04B45/047 , F04B45/04
CPC classification number: F04B45/047 , F04B19/006 , F04B43/043 , F04B43/046
Abstract: 一种流体泵(101)，其小型低背且泵能力较高。流体泵(101)由致动器(40)和平面部(51)构成，其中，所述平面部(51)由金属板制成。致动器(40)通过将圆板状的压电元件(42)粘接至圆板状的振动板(41)上形成。通过施加矩形波或正弦波状的驱动电压，致动器(40)从中心部至周边部发生弯曲振动。致动器(40)的周边部没有受到约束。致动器(40)以靠近平面部(51)且与其相对的状态发生弯曲振动。在平面部(51)中的、与致动器(40)相对的致动器相对区域的中心或中心附近配置有中心通气孔(52)。
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公开(公告)号：CN102597520A
公开(公告)日：2012-07-18
申请号：CN201180004549.2
申请日：2011-05-16
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: F04B45/047 , F04B45/04
CPC classification number: F04B45/047 , F04B19/006 , F04B43/043 , F04B43/046
Abstract: 一种流体泵(101)，其小型低背且泵能力较高。流体泵(101)由致动器(40)和平面部(51)构成，其中，所述平面部(51)由金属板制成。致动器(40)通过将圆板状的压电元件(42)粘接至圆板状的振动板(41)上形成。通过施加矩形波或正弦波状的驱动电压，致动器(40)从中心部至周边部发生弯曲振动。致动器(40)的周边部没有受到约束。致动器(40)以靠近平面部(51)且与其相对的状态发生弯曲振动。在平面部(51)中的、与致动器(40)相对的致动器相对区域的中心或中心附近配置有中心通气孔(52)。
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公开(公告)号：CN102979703B
公开(公告)日：2015-07-08
申请号：CN201210326001.6
申请日：2012-09-05
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: F04B43/04
CPC classification number: F04B43/046 , F04B45/047 , F04B53/00 , F04D33/00
Abstract: 一种流体控制装置，包括振动板单元、驱动体及可挠板。振动板单元具有振动板、框板及连接部，其中，所述振动板具有第一主面和第二主面，所述框板围住所述振动板的周围，所述连接部将所述振动板与所述框板连接，并将所述振动板弹性支承于所述框板。驱动体设于所述振动板的所述第一主面，并使所述振动板振动。可挠板设有孔，并与所述振动板的所述第二主面相对地固定于所述框板。至少所述振动板的一部分及所述连接部的厚度形成得比所述框板的厚度薄，以使所述振动板的一部分及所述连接部的靠所述可挠板一侧的表面远离所述可挠板。
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公开(公告)号：CN103339380A
公开(公告)日：2013-10-02
申请号：CN201280007034.2
申请日：2012-10-10
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: F04B45/04 , F04B43/02 , F04B43/04 , F04B45/047
CPC classification number: F04B43/04 , F04B43/043 , F04B43/046
Abstract: 提供一种能将可挠板的固有频率调节为最佳值的流体控制装置及该流体控制装置的调节方法。在按压工序中，将压电泵(101)以使盖板(195)朝上的方式载置在工作台(502)上，使工作台(502)上升，并使用按压销(503)对盖板(195)的与振动板(141)相反一侧的主面的中央部进行按压。其结果是，盖板(195)及基板(191)成为以使振动板(141)侧呈凸状的方式翘曲的形状，将与可挠板(151)接合的接合部分拉伸，来使可挠板(151)以使振动板(141)侧呈凸状的方式翘曲。藉此，在可挠板(151)的可动部(154)上产生残留拉伸应力。因此，因该残留拉伸应力而使可挠板(151)的可动部(154)的拉伸应力提高，并能将可动部(154)的固有频率调节为能在允许范围内的耗电量下获得规定值以上的所希望的泵压力的最佳值。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102979706A
公开(公告)日：2013-03-20
申请号：CN201210326158.9
申请日：2012-09-05
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: F04B43/04
CPC classification number: F04B43/043 , F04B45/047
Abstract: 一种流体控制装置，包括振动板单元、驱动体及可挠板。所述振动板单元具有振动板和框板，其中，所述振动板具有第一主面和第二主面，所述框板围住所述振动板的周围。所述驱动体设于所述振动板的所述第一主面，并使所述振动板振动。在所述可挠板上设有孔。此外，所述可挠板与所述振动板的所述第二主面相对，并通过含有多个微粒的粘接剂夹着多个所述微粒而被粘接在所述框板上。
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公开(公告)号：CN104500374B
公开(公告)日：2017-06-13
申请号：CN201410571345.2
申请日：2012-09-05
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: F04B43/04 , F04B45/047
CPC classification number: F04B43/046 , F04B45/047 , F04D33/00
Abstract: 一种流体控制装置，包括振动板单元、驱动体及可挠板。振动板单元具有振动板、框板及连接部，其中，所述振动板具有第一主面和第二主面，所述框板围住所述振动板的周围，所述连接部将所述振动板与所述框板连接，并将所述振动板弹性支承于所述框板。驱动体设于所述振动板的所述第一主面，并使所述振动板振动。可挠板设有孔，并与所述振动板的所述第二主面相对地固定于所述框板。至少所述振动板的一部分及所述连接部的厚度形成得比所述框板的厚度薄，以使所述振动板的一部分及所述连接部的靠所述可挠板一侧的表面远离所述可挠板。
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公开(公告)号：CN103140674B
公开(公告)日：2016-06-08
申请号：CN201280003193.5
申请日：2012-03-01
Applicant: 株式会社村田制作所
CPC classification number: F04B43/0054 , F04B17/003 , F04B43/046 , F04B45/047 , F04B2203/0406 , H01L41/0973
Abstract: 本发明提供一种致动器支承结构及泵装置。压电泵（1）包括板簧（15）。板簧（15）包括构成致动器（3）的圆板部（24）、构成壳体（2）的外框部（23）、及弹性支承部（4）。致动器（3）从主面的中心到外周进行弯曲振动。弹性支承部（4）包括梁部（25）和连结部（26、27、28）而构成，并使圆板部（24）弹性支承在外框部（23）上。梁部（25）在圆板部（24）与外框部（23）之间的间隙中在沿着圆板部（24）的外周的方向上延伸。连结部（26）将梁部（25）与圆板部（24）连结。连结部（27、28）设置在偏离连结部（26）的位置上，并将梁部（25）与外框部（23）相连结。
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公开(公告)号：CN103339380B
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201280007034.2
申请日：2012-10-10
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: F04B45/04 , F04B43/02 , F04B43/04 , F04B45/047
CPC classification number: F04B43/04 , F04B43/043 , F04B43/046
Abstract: 提供一种能将可挠板的固有频率调节为最佳值的流体控制装置及该流体控制装置的调节方法。在按压工序中，将压电泵(101)以使盖板(195)朝上的方式载置在工作台(502)上，使工作台(502)上升，并使用按压销(503)对盖板(195)的与振动板(141)相反一侧的主面的中央部进行按压。其结果是，盖板(195)及基板(191)成为以使振动板(141)侧呈凸状的方式翘曲的形状，将与可挠板(151)接合的接合部分拉伸，来使可挠板(151)以使振动板(141)侧呈凸状的方式翘曲。藉此，在可挠板(151)的可动部(154)上产生残留拉伸应力。因此，因该残留拉伸应力而使可挠板(151)的可动部(154)的拉伸应力提高，并能将可动部(154)的固有频率调节为能在允许范围内的耗电量下获得规定值以上的所希望的泵压力的最佳值。
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公开(公告)号：CN102979704B
公开(公告)日：2015-07-29
申请号：CN201210326054.8
申请日：2012-09-05
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: F04B43/04
CPC classification number: F04B43/043 , F04B45/047
Abstract: 一种流体控制装置，包括振动板单元、驱动体、可挠板及基板。上述振动板单元具有振动板和框板，其中，上述振动板具有第一主面和第二主面，上述框板围住上述振动板的周围。所述驱动体与所述振动板的所述第一主面或所述第二主面中的任一主面接合，并使所述振动板振动。所述可挠板设有孔，并以与所述振动板相对的方式与接合在所述框板上。所述基板与所述可挠板的和所述振动板相反一侧的主面接合。所述框板的材料的线膨胀系数和所述基板的材料的线膨胀系数之间的大小关系与所述振动板及所述驱动体中的、远离所述可挠板的一方的材料的线膨胀系数和所述振动板及所述驱动体中的、靠近所述可挠板较近的一方的材料的线膨胀系数之间的大小关系相同。
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