公开(公告)号：CN105223523B

公开(公告)日：2018-04-27

申请号：CN201410300893.1

申请日：2014-06-27

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 森大辅 ,  冈部修二

IPC: G01R33/09

CPC classification number: G01R33/0005 ,  G01R33/0023 ,  G01R33/09 ,  H01L43/08

Abstract: 本发明提供一种磁传感器。多个第一磁阻元件(120a、120b)各自的阻值变化率大于多个第二磁阻元件(130a、130b)各自的阻值变化率。多个第一磁阻元件(120a、120b)在俯视下分别具有双重旋涡状图案。双重旋涡状图案包含一方的旋涡状图案、另一方的旋涡状图案以及将一方的旋涡状图案与另一方的旋涡状图案在双重旋涡状图案的中央部处连结的S字状图案或者反S字状图案。多个第一磁阻元件(120a、120b)各自以S字状图案或者反S字状图案的朝向彼此不同的方式使双重旋涡状图案在周向上的朝向不同。

公开(公告)号：CN105223523A

公开(公告)日：2016-01-06

申请号：CN201410300893.1

申请日：2014-06-27

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 森大辅 ,  冈部修二

IPC: G01R33/09

CPC classification number: G01R33/0005 ,  G01R33/0023 ,  G01R33/09 ,  H01L43/08

Abstract: 本发明提供一种磁传感器。多个第一磁阻元件(120a、120b)各自的阻值变化率大于多个第二磁阻元件(130a、130b)各自的阻值变化率。多个第一磁阻元件(120a、120b)在俯视下分别具有双重旋涡状图案。双重旋涡状图案包含一方的旋涡状图案、另一方的旋涡状图案以及将一方的旋涡状图案与另一方的旋涡状图案在双重旋涡状图案的中央部处连结的S字状图案或者反S字状图案。多个第一磁阻元件(120a、120b)各自以S字状图案或者反S字状图案的朝向彼此不同的方式使双重旋涡状图案在周向上的朝向不同。