公开(公告)号：CN108385155B

公开(公告)日：2020-06-16

申请号：CN201810102405.4

申请日：2018-02-01

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 山田尚弘 ,  海沼泰明 ,  五木田泰男

IPC: C25D17/16 ,  C25D7/00

Abstract: 一种镀覆用单元及包括该镀覆用单元的镀覆装置，抑制被镀覆物的镀覆厚度的不均。镀覆用单元(10)能储存镀覆液且能收容被镀覆物，并通过旋转装置(30)以垂直轴线(J)为中心旋转。镀覆用单元(10)包括：底板(12)；上爬构件(13)，该上爬构件(13)具有电绝缘性，并具有随着从底板(12)的上表面(12a)向上方而朝径向外侧倾斜的第一倾斜面(13a)；以及阴极电极(14)，该阴极电极(14)配置成在沿垂直轴线(J)的方向上与上爬构件(13)相邻，并具有随着朝向上方而朝径向外侧倾斜的第二倾斜面(14a)。

公开(公告)号：CN108385155A

公开(公告)日：2018-08-10

申请号：CN201810102405.4

申请日：2018-02-01

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 山田尚弘 ,  海沼泰明 ,  五木田泰男

IPC: C25D17/16 ,  C25D7/00

Abstract: 一种镀覆用单元及包括该镀覆用单元的镀覆装置，抑制被镀覆物的镀覆厚度的不均。镀覆用单元(10)能储存镀覆液且能收容被镀覆物，并通过旋转装置(30)以垂直轴线(J)为中心旋转。镀覆用单元(10)包括：底板(12)；上爬构件(13)，该上爬构件(13)具有电绝缘性，并具有随着从底板(12)的上表面(12a)向上方而朝径向外侧倾斜的第一倾斜面(13a)；以及阴极电极(14)，该阴极电极(14)配置成在沿垂直轴线(J)的方向上与上爬构件(13)相邻，并具有随着朝向上方而朝径向外侧倾斜的第二倾斜面(14a)。