公开(公告)号：CN101014400A

公开(公告)日：2007-08-08

申请号：CN200580030056.0

申请日：2005-07-07

Applicant: 株式会社晓星

Inventor： 朴容徹 ,  程宇植 ,  玄光哲 ,  李章源 ,  权益铉

IPC: B01D53/02

CPC classification number: C01B21/0837 ,  B01D53/02 ,  B01D53/0423 ,  B01D53/0462 ,  B01D2253/108 ,  B01D2253/308 ,  B01D2257/2066 ,  B01D2258/0216 ,  B01D2259/4006 ,  B01D2259/401 ,  B01J20/186 ,  C01B39/026 ,  Y02C20/30 ,  Y02P20/151 ,  Y02P20/154 ,  Y10S95/90

Abstract: 本发明公开了一种用于精制三氟化氮气体的方法和用在其中的吸附剂。将包含四氟化碳(CF4)杂质的三氟化氮(NF3)渗入如下沸石3A、4A或5A床中以将三氟化氮选择性地吸附到所述床上，接着将三氟化氮从床上脱附，其中所述沸石与碱土金属离子交换过并且在150－600℃下热处理过0.5－100小时。

公开(公告)号：CN100503005C

公开(公告)日：2009-06-24

申请号：CN200580030056.0

申请日：2005-07-07

Applicant: 株式会社晓星

Inventor： 朴容徹 ,  程宇植 ,  玄光哲 ,  李章源 ,  权益铉

IPC: B01D53/02

CPC classification number: C01B21/0837 ,  B01D53/02 ,  B01D53/0423 ,  B01D53/0462 ,  B01D2253/108 ,  B01D2253/308 ,  B01D2257/2066 ,  B01D2258/0216 ,  B01D2259/4006 ,  B01D2259/401 ,  B01J20/186 ,  C01B39/026 ,  Y02C20/30 ,  Y02P20/151 ,  Y02P20/154 ,  Y10S95/90

Abstract: 本发明公开了一种用于精制三氟化氮气体的方法和用在其中的吸附剂。将包含四氟化碳(CF4)杂质的三氟化氮(NF3)渗入如下沸石3A、4A或5A床中以将三氟化氮选择性地吸附到所述床上，接着将三氟化氮从床上脱附，其中所述沸石与碱土金属离子交换过并且在150-600℃下热处理过0.5-100小时。

公开(公告)号：CN100503004C

公开(公告)日：2009-06-24

申请号：CN200580030050.3

申请日：2005-07-07

Applicant: 株式会社晓星

Inventor： 朴容徹 ,  程宇植 ,  玄光哲 ,  李章源 ,  权益铉

IPC: B01D53/02

Abstract: 本文披露的是一种精制三氟化氮气体的方法及用于该方法的吸附剂。使包含作为杂质的四氟化碳(CF4)的三氟化氮(NF3)气体通过经碱土金属离子交换和浸渍的沸石3A，A或5A的床层，并且在150-600℃下热处理0.5-100小时，使得能够选择性地将三氟化氮吸附到床层上，接着将三氟化氮脱附。

公开(公告)号：CN101014399A

公开(公告)日：2007-08-08

申请号：CN200580030050.3

申请日：2005-07-07

Applicant: 株式会社晓星

Inventor： 朴容徹 ,  程宇植 ,  玄光哲 ,  李章源 ,  权益铉

IPC: B01D53/02

Abstract: 本文披露的是一种精制三氟化氮气体的方法及用于该方法的吸附剂。使包含作为杂质的四氟化碳(CF4)的三氟化氮(NF3)气体通过经碱土金属离子交换和浸渍的沸石3A，A或5A的床层，并且在150－600℃下热处理0.5－100小时，使得能够选择性地将三氟化氮吸附到床层上，接着将三氟化氮脱附。