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发明公开
带电粒子源、带电粒子枪、带电粒子束装置审中-实审

公开(公告)号：CN119404276A

公开(公告)日：2025-02-07

申请号：CN202280097390.1

申请日：2022-07-20

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 城光寺佑树 , 福田真大 , 福本政幸

IPC: H01J37/06

Abstract: 本公开的目的在于使带电粒子源的探针电流长时间稳定。在本公开的带电粒子源中，发射器前端部具有：第一平坦面，其相对于光轴垂直；多个第二平坦面，其相对于所述光轴平行；以及多个第三平坦面，其配置于所述第一平坦面与所述第二平坦面之间。所述多个第二平坦面中的存在于隔着所述光轴相互对置的位置的所述第二平坦面间的第一距离比所述前端部与所述针部之间的边界部的外径大。

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