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公开(公告)号：CN116438377A
公开(公告)日：2023-07-14
申请号：CN202180073839.6
申请日：2021-10-12
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: F04B13/00
Abstract: 本发明提供减小送液泵的容积并且能够实现脉动小的送液的技术。本发明的送液泵具备：第一柱塞泵，其具有第一柱塞；第二柱塞泵，其具有第二柱塞，并与所述第一柱塞泵串联连接；压力传感器，其配置于所述第二柱塞泵的下游；以及控制部，其接受所述压力传感器测定出的液体的吐出压力的输入，并控制所述第一柱塞的驱动以及所述第二柱塞的驱动，所述控制部基于利用所述第一柱塞泵压缩所述液体时的所述第一柱塞的过去的压缩距离以及压缩完成时的压力，算出所述液体的压力变化率，所述控制部基于所述压力变化率以及当前的吐出压力，预测所述第一柱塞的压缩距离，所述控制部基于预测出的所述压缩距离，决定完成由所述第一柱塞进行的所述压缩的时机。
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公开(公告)号：CN114930029B
公开(公告)日：2024-09-10
申请号：CN202080092039.4
申请日：2020-11-05
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 本发明提供一种能够减小送液泵的容积且能够进行脉动小的送液的技术。本公开的送液泵具备：第一柱塞泵，其具有第一柱塞；第二柱塞泵，其具有第二柱塞并与所述第一柱塞泵串联连接；压力传感器，其配置于所述第二柱塞泵的下游；以及控制部，其接受所述压力传感器测定出的液体排出压力的输入，并控制所述第一柱塞的驱动以及所述第二柱塞的驱动，所述控制部在通过所述第一柱塞泵来压缩所述液体时，在以第一速度驱动所述第一柱塞之后且在所述压缩完成之前，减速至比所述第一速度慢的第二速度，与所述第一柱塞的驱动并行地驱动所述第二柱塞而从所述第二柱塞泵排出所述液体。
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公开(公告)号：CN114930029A
公开(公告)日：2022-08-19
申请号：CN202080092039.4
申请日：2020-11-05
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 本发明提供一种能够减小送液泵的容积且能够进行脉动小的送液的技术。本公开的送液泵具备：第一柱塞泵，其具有第一柱塞；第二柱塞泵，其具有第二柱塞并与所述第一柱塞泵串联连接；压力传感器，其配置于所述第二柱塞泵的下游；以及控制部，其接受所述压力传感器测定出的液体排出压力的输入，并控制所述第一柱塞的驱动以及所述第二柱塞的驱动，所述控制部在通过所述第一柱塞泵来压缩所述液体时，在以第一速度驱动所述第一柱塞之后且在所述压缩完成之前，减速至比所述第一速度慢的第二速度，与所述第一柱塞的驱动并行地驱动所述第二柱塞而从所述第二柱塞泵排出所述液体。
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公开(公告)号：CN118355275A
公开(公告)日：2024-07-16
申请号：CN202280080410.4
申请日：2022-11-14
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 本发明提供一种送液泵，能够考虑溶剂的膨胀、依赖于溶剂的压力的泄漏、依赖于溶剂的流量的泄漏，能够进行流量精度高的送液。本发明的送液泵(1)具备：具备第一柱塞(21)的第一柱塞泵(101)；具备第二柱塞(22)且与第一柱塞泵(101)连接的第二柱塞泵(102)；测定来自第二柱塞泵(102)的送液压力(P2)的压力传感器(110)；控制第一柱塞(21)和第二柱塞(22)的驱动的控制部(10)。控制部(10)使用依赖于送液压力(P2)的参数(C1、C0)、送液压力(P2)和液体的目标流量，求出第一柱塞(21)的移动速度(v1)和第二柱塞(22)的移动速度(v2)。参数(C1、C0)是表示送液压力(P2)与液体的流量(Q0)的关系的式子的参数。
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公开(公告)号：CN115190942A
公开(公告)日：2022-10-14
申请号：CN202180017192.5
申请日：2021-03-05
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 实现一种能够高精度地输送液体的送液装置。具备：送液部(104)，其具有通过柱塞(207、208)滑动来进行溶剂的吸取动作及排出动作的缸(205、206)；压力传感器(217)，其设置在送液部(104)的下游侧，检测所排出的溶剂的压力；切换阀(102a～102d)，其切换吸取及排出的多个溶剂；以及控制部(218)，其控制送液部(104)及切换阀(102a～102d)的动作。控制部(218)与柱塞(207、208)的吸取动作同步地控制切换阀(102a～102d)的动作，以使多个溶剂的混合比率变化，并控制柱塞(207、208)以互不相同的至少第一加速度及第二加速度进行动作，抑制被柱塞(207、208)吸取的所述溶剂的摆动。
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