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发明公开
质量分析装置以及质量分析装置的RF调谐方法审中-实审

公开(公告)号：CN118575255A

公开(公告)日：2024-08-30

申请号：CN202280089873.7

申请日：2022-01-25

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 山田晃 , 近藤克 , 皆田晋介 , 照井康

IPC: H01J49/00 , H01J49/02 , H01J49/42

Abstract: 本发明提供一种质量分析装置，在对电极的施加电压存在异常时，能够容易地进行原因部位的区分。在具备四极电极和生成施加于四极电极的高频电压的电源电路(200)的质量分析装置中，电源电路(200)具备模拟乘法器(205)，在RF调谐模式下，反馈模拟乘法器(205)的输出信号的振幅，在模拟乘法器(205)的输出信号的振幅被控制为高频电压的目标振幅的状态下，将电源电路生成的高频电压施加于四极电极。

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