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发明公开
带电粒子束系统审中-实审

公开(公告)号：CN117043908A

公开(公告)日：2023-11-10

申请号：CN202180096298.9

申请日：2021-03-26

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 君塚平太 , 津野夏规 , 白崎保宏 , 内保美南

IPC: H01J37/22

Abstract: 本公开的目的在于提供一种带电粒子束系统，其能够使用因对试样照射光而产生的光的干涉、光的衍射、光的驻波等引起的观察图像上的特征量，得到与试样有关的信息。本公开的带电粒子束系统从试样的观察图像中提取因对试样照射光而产生的所述光的干涉、所述光的衍射或所述光的驻波引起的第一特征量，并使用所述第一特征量来取得所述试样的第二特征量(参照图6)。

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