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公开(公告)号:CN110462784A
公开(公告)日:2019-11-15
申请号:CN201880021365.9
申请日:2018-05-01
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 本发明提供的质量分析装置包括:离子化部,其使样品离子化;管嘴部,其具有与离子化部用流通管连接的、供离子化后的样品流入的流入口(3a),和供流入的样品流出的流出口(3b);真空室,其被真空排气单元排气,样品能够从管嘴部流入其中;质量分析部,其与真空室相比位于样品流的下游,用于从样品中选择离子;和离子检测部,其检测质量分析部所选择的离子,在管嘴部的内部设置有使样品流分支的分支部(3c);分支部(3c)具有随着向流出口(3b)去而直径减小的锥形状的凸部(3f)。
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公开(公告)号:CN113557587A
公开(公告)日:2021-10-26
申请号:CN202080019870.7
申请日:2020-01-22
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 本发明实现了一种离子检测装置,其能够避免负离子与闪烁体直接碰撞,能够防止闪烁体劣化,实现闪烁体的长寿化、免维护化、正负两种离子的高灵敏度检测。相对于将正离子用CD(52)的中心点(63)与相对电极(54)的中心点(64)连接的基准线(65),负离子用CD(53)的中心点(66)配置在与闪烁体(56)的中心点(67)所在一侧的区域相反一侧的区域。从离子进入口(62)入射的正离子受到偏转力而与正离子用CD(52)碰撞所产生的二次电子与闪烁体(56)碰撞而发光,经过光导(59)被光电子倍增管(58)检测。沿着基准线(65)生成负电位势垒,从离子进入口(62)进入的负离子被负离子用CD(53)吸引而碰撞生成的正离子与正离子用CD(52)碰撞产生的二次电子与闪烁体(56)碰撞,被光电子倍增管(58)检测。
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公开(公告)号:CN108369890B
公开(公告)日:2019-12-06
申请号:CN201680072855.2
申请日:2016-11-09
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 兼顾减速离子的加速和减速离子的速度分散幅度的降低,来兼顾检测离子灵敏度的提高和分辨率提高。棒状电极(4‑2‑a)~(4‑2‑d)中的至少一组相对的棒状电极间的距离dx在离子入射的入口部和离子出射的出口部不同,使所述至少一组相对的棒状电极间的距离dx从入口部向出口部逐渐减少或者增加。
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公开(公告)号:CN114026671B
公开(公告)日:2024-12-13
申请号:CN201980097858.5
申请日:2019-07-10
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J49/10
Abstract: 本发明的目的是提供一种能够防止试料长时间残留在离子源容器内部的质量分析装置。本发明的质量分析装置中,在离子源容器的内部除了供给离子源进行电离所用的第一气体之外,还供给沿着离子源容器的内壁朝向排气部流动的第二气体。
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公开(公告)号:CN113557587B
公开(公告)日:2024-06-11
申请号:CN202080019870.7
申请日:2020-01-22
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 本发明实现了一种离子检测装置,其能够避免负离子与闪烁体直接碰撞,能够防止闪烁体劣化,实现闪烁体的长寿化、免维护化、正负两种离子的高灵敏度检测。相对于将正离子用CD(52)的中心点(63)与相对电极(54)的中心点(64)连接的基准线(65),负离子用CD(53)的中心点(66)配置在与闪烁体(56)的中心点(67)所在一侧的区域相反一侧的区域。从离子进入口(62)入射的正离子受到偏转力而与正离子用CD(52)碰撞所产生的二次电子与闪烁体(56)碰撞而发光,经过光导(59)被光电子倍增管(58)检测。沿着基准线(65)生成负电位势垒,从离子进入口(62)进入的负离子被负离子用CD(53)吸引而碰撞生成的正离子与正离子用CD(52)碰撞产生的二次电子与闪烁体(56)碰撞,被光电子倍增管(58)检测。
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公开(公告)号:CN110462784B
公开(公告)日:2021-09-17
申请号:CN201880021365.9
申请日:2018-05-01
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 本发明提供的质量分析装置包括:离子化部,其使样品离子化;管嘴部,其具有与离子化部用流通管连接的、供离子化后的样品流入的流入口(3a),和供流入的样品流出的流出口(3b);真空室,其被真空排气单元排气,样品能够从管嘴部流入其中;质量分析部,其与真空室相比位于样品流的下游,用于从样品中选择离子;和离子检测部,其检测质量分析部所选择的离子,在管嘴部的内部设置有使样品流分支的分支部(3c);分支部(3c)具有随着向流出口(3b)去而直径减小的锥形状的凸部(3f)。
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公开(公告)号:CN114026671A
公开(公告)日:2022-02-08
申请号:CN201980097858.5
申请日:2019-07-10
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J49/10
Abstract: 本发明的目的是提供一种能够防止试料长时间残留在离子源容器内部的质量分析装置。本发明的质量分析装置中,在离子源容器的内部除了供给离子源进行电离所用的第一气体之外,还供给沿着离子源容器的内壁朝向排气部流动的第二气体。
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公开(公告)号:CN108369890A
公开(公告)日:2018-08-03
申请号:CN201680072855.2
申请日:2016-11-09
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 兼顾减速离子的加速和减速离子的速度分散幅度的降低,来兼顾检测离子灵敏度的提高和分辨率提高。棒状电极(4-2-a)~(4-2-d)中的至少一组相对的棒状电极间的距离dx在离子入射的入口部和离子出射的出口部不同,使所述至少一组相对的棒状电极间的距离dx从入口部向出口部逐渐减少或者增加。
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