公开(公告)号：CN110337707B

公开(公告)日：2021-09-28

申请号：CN201780084642.6

申请日：2017-02-13

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 吉原真衣 ,  大南祐介

IPC: H01J37/22 ,  H01J37/20

Abstract: 本发明的目的在于提供一种不使机箱尺寸大型化地用带电粒子线装置和摄像机观察同一视野的装置。本发明的一方案的带电粒子线装置具备向试样(7)照射带电粒子线的镜筒(2)、拍摄试样的光学图像的摄像部(43)、载置试样的试样台(30)、载置试样台且能移动的载物台(6)，构成为，若将试样台的物理性的中心轴与摄像部的物理性的光轴之间的距离定义为第一距离、将试样台的假想性的中心轴与摄像部的物理性的中心轴、或试样台的物理性的中心轴与摄像部的假想性的中心轴、或试样台的假想性的中心轴与摄像部的假想性的中心轴之间的距离定义为第二距离，则第二距离比第一距离短。

公开(公告)号：CN110337707A

公开(公告)日：2019-10-15

申请号：CN201780084642.6

申请日：2017-02-13

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 吉原真衣 ,  大南祐介

IPC: H01J37/22 ,  H01J37/20

Abstract: 本发明的目的在于提供一种不使机箱尺寸大型化地用带电粒子线装置和摄像机观察同一视野的装置。本发明的一方案的带电粒子线装置具备向试样(7)照射带电粒子线的镜筒(2)、拍摄试样的光学图像的摄像部(43)、载置试样的试样台(30)、载置试样台且能移动的载物台(6)，构成为，若将试样台的物理性的中心轴与摄像部的物理性的光轴之间的距离定义为第一距离、将试样台的假想性的中心轴与摄像部的物理性的中心轴、或试样台的物理性的中心轴与摄像部的假想性的中心轴、或试样台的假想性的中心轴与摄像部的假想性的中心轴之间的距离定义为第二距离，则第二距离比第一距离短。