公开(公告)号：CN100405185C

公开(公告)日：2008-07-23

申请号：CN03138653.9

申请日：2003-05-29

Applicant: 株式会社日立工业设备技术

Inventor： 中山幸德 ,  村山孝夫 ,  平井明 ,  八幡聪

IPC: G02F1/1339 ,  G02F1/1333 ,  G09F9/35

Abstract: 一种基板装配装置，在加压板(上板)2的中央部附近设置能上下伸缩的吸附衬垫，根据输入的上基板的挠曲量拉伸吸附衬垫，负压供给到设置在加压板上的吸附孔的同时也供给到吸附衬垫，吸附基板之后，通过收缩吸附衬垫使吸附衬垫的顶端部位于加压板的吸附面上，可以可靠地把基板保持在加压板上。从而可以解决在把大型基板输入贴合装置内并把上基板保持在加压板上时，当基板产生挠曲时存在不能可靠地保持基板的问题。

公开(公告)号：CN1470922B

公开(公告)日：2010-04-21

申请号：CN03149313.0

申请日：2003-06-26

Applicant: 株式会社日立工业设备技术

Inventor： 平井明 ,  八幡聪 ,  中山幸德 ,  村山孝夫

IPC: G02F1/1339

Abstract: 为了使进行大型基板的胶合的减压腔内的维护检查变得容易，且实现高精度的胶合，将在减压状态胶合2张基板的组装装置，作成分割为上下2个腔的构造，将在上侧腔内使一方的基板可自由拆装地保持的上台面、和在下侧腔内使另一方的基板可自由拆装地保持的下台面，与各自保持的基板相对地备置，前述上台面在上腔的外侧具有使上台面以及上腔分别独立地上下移动的驱动机构，前述下台面与下腔一体地结合，在前述下腔的外侧，具有相对于上腔至少在水平方向移动的驱动。

公开(公告)号：CN100472747C

公开(公告)日：2009-03-25

申请号：CN03805388.8

申请日：2003-02-17

Applicant: 株式会社日立工业设备技术

Inventor： 横山直人 ,  森本光昭 ,  中原真 ,  村山孝夫 ,  平井明 ,  八幡聪

IPC: H01L21/68 ,  G02F1/13 ,  G02F1/1333

CPC classification number: B65G49/061 ,  B32B37/1292 ,  B32B2038/1891 ,  B32B2309/68 ,  B32B2457/20 ,  B65G2249/02 ,  B65G2249/04 ,  B65G2249/045 ,  C09J7/10 ,  C09J2201/28 ,  C09J2409/00 ,  G02F1/1333 ,  G02F1/1341 ,  G02F2001/133302 ,  G02F2001/133354 ,  G02F2202/28 ,  H01L21/6835 ,  H01L2924/1017 ,  Y10T428/24165 ,  Y10T428/24355 ,  Y10T428/2883

Abstract: 本发明的真空中的衬底保持方法利用以含有二烯类树脂的材料成型的粘结衬垫(20)或粘结片保持玻璃衬底(5)。以此防止粘结剂粘附在衬底上，同时能在粘固衬底后方便地将粘结片从衬底上剥离。

公开(公告)号：CN201808268U

公开(公告)日：2011-04-27

申请号：CN201020140937.6

申请日：2010-03-15

Applicant: 株式会社日立工业设备技术

Inventor： 平井明 ,  石田刚 ,  海津拓哉 ,  中山幸德

IPC: B32B38/18 ,  G02F1/1333

Abstract: 本实用新型的课题在于提供一种贴合装置，其具备能够以简单的结构保持大型的玻璃基板的基板保持装置。贴合装置通过具有基板保持部(41)的上基板保持装置(4)而粘着保持玻璃基板，所述基板保持部(41)中在圆环状的周缘部(41a)上安装有以不饱和聚丁二烯树脂为材料且呈圆环状的粘着垫(41d)、和配置成覆盖周缘部(41a)的圆环状的中空部(41b)的可动膜(41c)。其特征在于，使玻璃基板从粘着垫(41d)脱离时，可动膜(41c)随着增压室(42)的气压上升，朝向粘着在粘着垫(41d)上的玻璃基板突出。