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公开(公告)号：CN100432776C
公开(公告)日：2008-11-12
申请号：CN200610084511.1
申请日：2006-05-25
Applicant: 株式会社日立工业设备技术
IPC: G02F1/1333
CPC classification number: G02F1/1341 , G02F1/1303 , G02F2001/133354 , G02F2001/13415 , G02F2202/28
Abstract: 本发明所要解决的课题是随着贴合基板的大型化、为了保持产品的精度贴合装置也形成大型，操作也变得复杂的问题。本发明的基板组装装置悬吊有上腔室，并设有下腔室，上腔室在架台的四角设置用于使上架进行上下移动的Z轴驱动机构，并且在上架下面、在内部具有上工作台；下腔室在内部具有通过多个支撑腿被支撑在上述架台侧的下工作台，上述上腔室和下腔室通过密封圈合为一体、构成真空腔室，上述上工作台与上述上架进行连结，并通过上架利用上述Z轴驱动机构进行移动，通过使上述上架动作，上腔室上下运动、进行真空腔室的开关，上述下工作台通过设置在多个支撑腿和工作台之间的万向节载物台进行支撑，通过设置在真空腔室外侧的横向推压机构可在水平方向移动。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101178500B
公开(公告)日：2011-01-19
申请号：CN200710169813.3
申请日：2007-11-07
Applicant: 株式会社日立工业设备技术
IPC: G02F1/1333 , H01L21/677 , B65G49/06
Abstract: 随着液晶面板的大型化，面板的组装装置也变得大型化，装置重量也超过40tf，不能在原封不动的状态下进行输送。本发明的基板组装装置在上下轴部分割成上腔室组件和下腔室组件两部分，下腔室组件保持该状态地进行输送，同时，在上腔室组件中的构成上腔室组件的上机架部安装在输送夹具上进行输送，并且在上述输送夹具上附加使上腔室组件上下移动的装置，也作为组装夹具使用。
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公开(公告)号：CN101216629B
公开(公告)日：2010-12-15
申请号：CN200810002107.4
申请日：2006-05-25
Applicant: 株式会社日立工业设备技术
IPC: G02F1/1333
CPC classification number: G02F1/1341 , G02F1/1303 , G02F2001/133354 , G02F2001/13415 , G02F2202/28
Abstract: 本发明所要解决的课题是随着贴合基板的大型化、为了保持产品的精度贴合装置也形成大型，操作也变得复杂的问题。本发明的基板组装装置悬吊有上腔室，并设有下腔室，上腔室在架台的四角设置用于使上架进行上下移动的Z轴驱动机构，并且在上架下面、在内部具有上工作台；下腔室在内部具有通过多个支撑腿被支撑在上述架台侧的下工作台，上述上腔室和下腔室通过密封圈合为一体、构成真空腔室，上述上工作台与上述上架进行连结，并通过上架利用上述Z轴驱动机构进行移动，通过使上述上架动作，上腔室上下运动、进行真空腔室的开关，上述下工作台通过设置在多个支撑腿和工作台之间的万向节载物台进行支撑，通过设置在真空腔室外侧的横向推压机构可在水平方向移动。
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公开(公告)号：CN101178500A
公开(公告)日：2008-05-14
申请号：CN200710169813.3
申请日：2007-11-07
Applicant: 株式会社日立工业设备技术
IPC: G02F1/1333 , H01L21/677 , B65G49/06
Abstract: 随着液晶面板的大型化，面板的组装装置也变得大型化，装置重量也超过40tf，不能在原封不动的状态下进行输送。本发明的基板组装装置在上下轴部分割成上腔室组件和下腔室组件两部分，下腔室组件保持该状态地进行输送，同时，在上腔室组件中的构成上腔室组件的上机架部安装在输送夹具上进行输送，并且在上述输送夹具上附加使上腔室组件上下移动的装置，也作为组装夹具使用。
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公开(公告)号：CN101216629A
公开(公告)日：2008-07-09
申请号：CN200810002107.4
申请日：2006-05-25
Applicant: 株式会社日立工业设备技术
IPC: G02F1/1333
CPC classification number: G02F1/1341 , G02F1/1303 , G02F2001/133354 , G02F2001/13415 , G02F2202/28
Abstract: 本发明所要解决的课题是随着贴合基板的大型化、为了保持产品的精度贴合装置也形成大型，操作也变得复杂的问题。本发明的基板组装装置悬吊有上腔室，并设有下腔室，上腔室在架台的四角设置用于使上架进行上下移动的Z轴驱动机构，并且在上架下面、在内部具有上工作台；下腔室在内部具有通过多个支撑腿被支撑在上述架台侧的下工作台，上述上腔室和下腔室通过密封圈合为一体、构成真空腔室，上述上工作台与上述上架进行连结，并通过上架利用上述Z轴驱动机构进行移动，通过使上述上架动作，上腔室上下运动、进行真空腔室的开关，上述下工作台通过设置在多个支撑腿和工作台之间的万向节载物台进行支撑，通过设置在真空腔室外侧的横向推压机构可在水平方向移动。
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公开(公告)号：CN1869778A
公开(公告)日：2006-11-29
申请号：CN200610084511.1
申请日：2006-05-25
Applicant: 株式会社日立工业设备技术
IPC: G02F1/1333
CPC classification number: G02F1/1341 , G02F1/1303 , G02F2001/133354 , G02F2001/13415 , G02F2202/28
Abstract: 本发明所要解决的课题是随着贴合基板的大型化、为了保持产品的精度贴合装置也形成大型，操作也变得复杂的问题。本发明的基板组装装置悬吊有上腔室，并设有下腔室，上腔室在架台的四角设置用于使上架进行上下移动的Z轴驱动机构，并且在上架下面、在内部具有上工作台；下腔室在内部具有通过多个支撑腿被支撑在上述架台侧的下工作台，上述上腔室和下腔室通过密封圈合为一体、构成真空腔室，上述上工作台与上述上架进行连结，并通过上架利用上述Z轴驱动机构进行移动，通过使上述上架动作，上腔室上下运动、进行真空腔室的开关，上述下工作台通过设置在多个支撑腿和工作台之间的万向节载物台进行支撑，通过设置在真空腔室外侧的横向推压机构可在水平方向移动。
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