-
公开(公告)号：CN1427443A
公开(公告)日：2003-07-02
申请号：CN02152624.9
申请日：2002-11-22
Applicant: 株式会社日立制作所
IPC: H01J29/76
CPC classification number: H01J29/768 , H01J29/76
Abstract: 一种电子束轨迹控制装置，它包括主偏转部分，后者具有第一主线圈、确定第一路径并配置成控制沿第一方向行进的电子的轨迹。所述主偏转部分包括设置在第一主线圈附近的第一辅助线圈。副偏转部分设置在所述主偏转部分附近并具有与所述第一辅助线圈相连接的第一副线圈。所述副偏转部分确定了与第一电子路径对准的第二电子路径。所述副偏转部分与所述主偏转部分配合来控制电子轨迹。
Search Results
1
records
(took 0.019 seconds)
筛选
AND
AND
过滤
NOT
NOT
Scan to Join
