公开(公告)号：CN1518049A

公开(公告)日：2004-08-04

申请号：CN03123107.1

申请日：2003-04-17

Applicant: 株式会社日立制作所

Inventor： 林原光男 ,  日高贵志夫 ,  堀内寿晃 ,  藤枝正 ,  沼田义道 ,  铃木修一

IPC: H01J37/26

CPC classification number: H01J37/256 ,  H01J37/02 ,  H01J37/28

Abstract: 提供一种省空间且具有可搬运性、起动时间短、减少用户的心理负担的电子显微镜。作为构成要素，至少包括安装在真空容器上的电子源、真空泵、被测样品保持架以及电子射线检测器、控制电子射线的轨迹的电子透镜、基于通过电子射线检测器得到的信号显示图像的显示器、控制电源，且一体化这些要素，在显示器的背面侧设置真空容器、电子源、真空泵、电子射线检测器、电子透镜以及控制电源，从位于显示器的下方的部分进行被检测样品的取放。根据本发明，可以实现解决上述课题的、到处可以存放的用户的心理负担少的电子显微镜。