公开(公告)号：CN107017210A

公开(公告)日：2017-08-04

申请号：CN201611252352.1

申请日：2016-12-30

Applicant: 株式会社日本显示器

Inventor： 渡壁创 ,  有吉知幸 ,  花田明纮

IPC: H01L23/29 ,  H01L23/31 ,  H01L29/51 ,  H01L29/786

CPC classification number: H01L29/78606 ,  G02F1/136213 ,  G02F1/1368 ,  G02F2201/121 ,  G02F2201/123 ,  H01L27/1225 ,  H01L27/1248 ,  H01L29/24 ,  H01L29/66969 ,  H01L29/7869 ,  H01L23/291 ,  H01L23/3171 ,  H01L29/511

Abstract: 根据本实施方式，薄膜晶体管具备第1绝缘膜、设置在上述第1绝缘膜之上的氧化物半导体层、设置在上述氧化物半导体层之上的第2绝缘膜，上述第1绝缘膜和上述第2绝缘膜的至少一方具有与上述氧化物半导体层接触的第1区域、和比上述第1区域更远离上述氧化物半导体层的第2区域，上述第2区域具有比上述第1区域高的氩浓度。