公开(公告)号：CN102953044A

公开(公告)日：2013-03-06

申请号：CN201210305330.2

申请日：2012-08-24

Applicant: 株式会社捷太格特 ,  株式会社CNK

Inventor： 安藤淳二 ,  铃木知朗 ,  小川友树 ,  岩井昭宪 ,  吉村信义 ,  桥富弘幸

IPC: C23C16/27 ,  C23C16/513 ,  F16C3/06

CPC classification number: C23C14/0611 ,  C23C16/26 ,  C23C16/458 ,  C23C16/50 ,  F16C3/03 ,  F16C2206/04 ,  F16C2326/06 ,  F16D3/06 ,  F16D2250/0046 ,  F16D2300/10 ,  H01J37/32669

Abstract: 多个花键轴(10)绕柱状等离子体(70a)布置，并且多个花键轴(10)在真空室(60)内沿柱状等离子体(70a)延伸的方向同轴地对准。多个同轴地对准的花键轴(10)定位为在相应的阳花键部(16)之间形成轴向间隙。多个阳花键部(16)的轴向间隙定位在柱状等离子体(70a)的沿柱状等离子体(70a)延伸的方向的中心处。

公开(公告)号：CN102953044B

公开(公告)日：2016-06-29

申请号：CN201210305330.2

申请日：2012-08-24

Applicant: 株式会社捷太格特 ,  株式会社CNK

Inventor： 安藤淳二 ,  铃木知朗 ,  小川友树 ,  岩井昭宪 ,  吉村信义 ,  桥富弘幸

IPC: C23C16/27 ,  C23C16/513 ,  F16C3/06

CPC classification number: C23C14/0611 ,  C23C16/26 ,  C23C16/458 ,  C23C16/50 ,  F16C3/03 ,  F16C2206/04 ,  F16C2326/06 ,  F16D3/06 ,  F16D2250/0046 ,  F16D2300/10 ,  H01J37/32669

Abstract: 多个花键轴(10)绕柱状等离子体(70a)布置，并且多个花键轴(10)在真空室(60)内沿柱状等离子体(70a)延伸的方向同轴地对准。多个同轴地对准的花键轴(10)定位为在相应的阳花键部(16)之间形成轴向间隙。多个阳花键部(16)的轴向间隙定位在柱状等离子体(70a)的沿柱状等离子体(70a)延伸的方向的中心处。