公开(公告)号：CN101213493B

公开(公告)日：2011-08-24

申请号：CN200680021234.8

申请日：2006-06-13

Applicant: 株式会社德山

Inventor： 尾前俊吉 ,  东野诚司 ,  大谷俊明 ,  名*康隆

IPC: G03F7/32 ,  G03F7/40 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/322

Abstract: 本发明提供由含有非离子性表面活性剂和铵化合物的碱性水溶液所构成的光致抗蚀剂显影液，其通过含有0.5～10质量％规定的非离子性表面活性剂、0.01～5.0质量％规定的铵化合物，即便在对厚膜抗蚀剂进行显影时也不会发生膜渣、可以形成良好图案。

公开(公告)号：CN101213493A

公开(公告)日：2008-07-02

申请号：CN200680021234.8

申请日：2006-06-13

Applicant: 株式会社德山

Inventor： 尾前俊吉 ,  东野诚司 ,  大谷俊明 ,  名康隆

IPC: G03F7/32 ,  G03F7/40 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/322

Abstract: 本发明提供由含有非离子性表面活性剂和铵化合物的碱性水溶液所构成的光致抗蚀剂显影液，其通过含有0.5～10质量％规定的非离子性表面活性剂、0.01～5.0质量％规定的铵化合物，即便在对厚膜抗蚀剂进行显影时也不会发生膜渣、可以形成良好图案。