公开(公告)号：CN101657761B

公开(公告)日：2012-07-04

申请号：CN200880012372.9

申请日：2008-05-13

Applicant: 株式会社德山

Inventor： 东野诚司 ,  名塚康隆

IPC: G03F7/32 ,  G03F7/023 ,  G03F7/039 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/322 ,  G03F7/0392

Abstract: 本发明提供在由化学增幅型抗蚀剂构成的厚层抗蚀剂的显影中可优选使用的显影液。一种光刻胶显影液，其特征在于，该光刻胶显影液由含有阴离子性表面活性剂和阳离子性表面活性剂的季铵化合物的水溶液构成，其中，将光刻胶显影液的总质量作为100质量％时，以0.1～5质量％含有下述式(1)所示的阴离子性表面活性剂、以0.01～2质量％含有阳离子性表面活性剂，(式中，R1为氢原子或甲基、R2为氢原子或碳原子数1～4的烷基、A为碳原子数1～4的亚烷基、1分子中，AO可相同、也可是不同的2种以上的组合、p为1～3的整数、m为5～30，M为氢原子或铵离子)。

公开(公告)号：CN101657761A

公开(公告)日：2010-02-24

申请号：CN200880012372.9

申请日：2008-05-13

Applicant: 株式会社德山

Inventor： 东野诚司 ,  名塚康隆

IPC: G03F7/32 ,  G03F7/023 ,  G03F7/039 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/322 ,  G03F7/0392

Abstract: 本发明提供在由化学增幅型抗蚀剂构成的厚层抗蚀剂的显影中可优选使用的显影液。一种光刻胶显影液，其特征在于，该光刻胶显影液由含有阴离子性表面活性剂和阳离子性表面活性剂的季铵化合物的水溶液构成，其中，将光刻胶显影液的总质量作为100质量％时，以0.1～5质量％含有上述式(1)所示的阴离子性表面活性剂、以0.01～2质量％含有阳离子性表面活性剂(式中，R 1 为氢原子或甲基、R 2 为氢原子或碳原子数1～4的烷基、A为碳原子数1～4的亚烷基、1分子中，AO可相同、也可是不同的2种以上的组合、p为1～3的整数、m为5～30，M为氢原子或铵离子)。