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公开(公告)号：CN117705344A
公开(公告)日：2024-03-15
申请号：CN202310673246.4
申请日：2023-06-07
Applicant: 株式会社岛津制作所
Abstract: 本发明提供一种压力传感器，可解决由于将压力传感器设为惰性应对而产生的问题。压力传感器包括：片材状的隔膜，包含非金属材料；主体块，包含非金属材料，具有与所述隔膜的主平面相向的隔膜相向面，以所述隔膜相向面被所述隔膜覆盖的方式配置，且设置有朝向所述隔膜侧的流体入口及流体出口；以及传感器头，具有收容压力传递液的凹陷，以所述凹陷的开口被所述隔膜堵塞的方式隔着所述隔膜配置于与所述主体块相反的一侧，且构成为利用所述隔膜的变形量对在所述隔膜与所述隔膜相向面之间流动的流体的压力进行检测，所述流体入口及所述流体出口设置为比所述隔膜相向面更远离所述隔膜。
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