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公开(公告)号：CN104901580B
公开(公告)日：2018-11-27
申请号：CN201510094746.8
申请日：2015-03-03
Applicant: 株式会社岛津制作所
Inventor： 土生俊也
Abstract: 本发明涉及高频电源装置。在等离子体点亮开始时无需提高电源电压而使大电流在感应线圈中流过，从而提高点亮开始时的稳定性。在对直流电压进行切换的全桥驱动电路(13)、与包括等离子体生成用的感应线圈(21)的LC共振电路(19)之间，设置包括电感器(17)与电容器(18)的阻抗变换电路(16)。电容器(18)的电容能够切换成两个阶段，切换驱动部(23)负责该切换。在从等离子体熄灭了的状态起点亮时，使电容器(18)的电容相对变大，能够对LC共振电路(19)供给大电流。在等离子体点亮而成为稳定状态时，切换成使电容器(18)的电容相对小的状态，使阻抗匹配，以使得电力效率最大。
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公开(公告)号：CN105391306A
公开(公告)日：2016-03-09
申请号：CN201510541315.1
申请日：2015-08-28
Applicant: 株式会社岛津制作所
Inventor： 土生俊也
IPC: H02M3/338
CPC classification number: H05H1/46 , G01J3/027 , H01J37/321 , H01J37/32174 , H05H1/36 , H05H2001/4652 , H05H2001/4682
Abstract: 本发明提供一种高频电源装置，其将变压器(6)形成为大致U字形。由此，能够确保变压器(6)的长度，同时缩短变压器(6)的次级线圈的输入端和输出端、与半导体元件的控制端子之间的图案布线(12)。另外，平行地配置变压器(6)的初级线圈以及次级线圈。由此，初级线圈以及次级线圈的耦合度变大。在框体内收容除去感应线圈的LC谐振电路、开关电路以及变压器。在框体内设置水冷式的散热器，并且通过空冷风机一边将框体内的空气引导到散热器一边使其循环。本发明是一种通过增大反馈电压而不需要向半导体元件的控制端子供给直流偏置电压、能够防止装置内的部件被装置外的空气污染的、高可靠性、高效率、电路结构简单的高频电源装置。
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公开(公告)号：CN104883129B
公开(公告)日：2018-05-15
申请号：CN201510091978.8
申请日：2015-02-28
Applicant: 株式会社岛津制作所
Inventor： 土生俊也
IPC: H03B5/08
CPC classification number: H05H1/46 , H03B5/06 , H03B5/1218 , H03B5/1228 , H03B5/1296 , H03B2200/0094 , H03L3/00 , H05H1/24 , H05H1/30 , H05H1/36 , H05H2001/4652 , H05H2001/4682
Abstract: 本发明涉及高频振荡电路。在用于ICP发光分析装置的等离子体生成用途等的大功率用的自激式高频振荡电路中，以低廉的成本来稳定地使自激振荡产生。在包括感应线圈(9)、电容器(36)等的LC共振电路(30)中，配置启动用变压器的次级绕组(38)，对与该绕组(38)磁耦合的初级绕组(5)连接由克拉普振荡电路等构成的启动部(6)。仅在启动时的一定期间内，使启动部(6)动作而通过初级绕组(5)、次级绕组(38)在LC共振电路(30)中感应出高频电流。由此，在与初级绕组(32、33、34、35)磁耦合的全桥驱动电路(10)中的各次级绕组(11、14、17、20)中流过电流，在MOSFET(13、16、19、22)的栅极‑源极之间产生电压，MOSFET(13、16、19、22)的导通/截止动作开始，自激振荡开始。
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公开(公告)号：CN105392269A
公开(公告)日：2016-03-09
申请号：CN201510559287.6
申请日：2015-09-02
Applicant: 株式会社岛津制作所
Inventor： 土生俊也
IPC: H05H1/46 , H02M7/5383
CPC classification number: G01J3/10 , G01J3/027 , G01J3/443 , H01J37/244 , H01J37/321 , H01J37/32174 , H01J37/32183 , H05H1/0037 , H05H1/36 , H05H1/46 , H05H2001/4652 , H05H2001/4682
Abstract: 本发明提供一种能够通过廉价的结构来准确地控制等离子体接入功率的高频电源装置。通过电压检测部(101)以及电流检测部(102)来分别检测针对串联谐振电路的高频输入电压(V)以及高频输入电流(I)，根据所检测到的高频输入电压(V)以及高频输入电流(I)，通过等离子体接入功率检测部(111)来检测等离子体接入功率。这样，通过直接检测等离子体接入功率，无论等离子体生成用气体、分析试样的状态等如何，都能够准确地控制等离子体接入功率。另外，通过使用包含半导体元件的开关电路，与使用真空管等的结构相比，能够做成更廉价的结构。
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公开(公告)号：CN105391306B
公开(公告)日：2018-09-04
申请号：CN201510541315.1
申请日：2015-08-28
Applicant: 株式会社岛津制作所
Inventor： 土生俊也
IPC: H02M3/338
CPC classification number: H05H1/46 , G01J3/027 , H01J37/321 , H01J37/32174 , H05H1/36 , H05H2001/4652 , H05H2001/4682
Abstract: 本发明提供一种高频电源装置，其将变压器(6)形成为大致U字形。由此，能够确保变压器(6)的长度，同时缩短变压器(6)的次级线圈的输入端和输出端、与半导体元件的控制端子之间的图案布线(12)。另外，平行地配置变压器(6)的初级线圈以及次级线圈。由此，初级线圈以及次级线圈的耦合度变大。在框体内收容除去感应线圈的LC谐振电路、开关电路以及变压器。在框体内设置水冷式的散热器，并且通过空冷风机一边将框体内的空气引导到散热器一边使其循环。本发明是一种通过增大反馈电压而不需要向半导体元件的控制端子供给直流偏置电压、能够防止装置内的部件被装置外的空气污染的、高可靠性、高效率、电路结构简单的高频电源装置。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102577078B
公开(公告)日：2014-09-17
申请号：CN200980162086.5
申请日：2009-10-23
Applicant: 株式会社岛津制作所
Inventor： 土生俊也
Abstract: 本发明涉及一种脉冲电压产生电路，包括：具有1次线圈、2次线圈的变压器(1)；与1次线圈并联的缓冲电容(21)；向1次线圈供给励磁电流的励磁电容(3)；插入在该励磁电容(3)向1次线圈供给励磁电流的励磁电流路径中的开关元件(6)；以及与2次线圈并联的负载电容(4)。调整缓冲电容(21)的容量、负载电容(4)的容量、2次线圈的寄生容量、1次线圈的电感、变压器(1)的励磁电感、变压器(1)的线圈比之间的关系，使得在开关元件(6)的关断后，负载电容(4)的两端之间的电压的首次的峰值比第2次以后的峰值中的任一个值都大。
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公开(公告)号：CN102577078A
公开(公告)日：2012-07-11
申请号：CN200980162086.5
申请日：2009-10-23
Applicant: 株式会社岛津制作所
Inventor： 土生俊也
Abstract: 本发明涉及一种脉冲电压产生电路，包括：具有1次线圈、2次线圈的变压器(1)；与1次线圈并联的缓冲电容(21)；向1次线圈供给励磁电流的励磁电容(3)；插入在该励磁电容(3)向1次线圈供给励磁电流的励磁电流路径中的开关元件(6)；以及与2次线圈并联的负载电容(4)。调整缓冲电容(21)的容量、负载电容(4)的容量、2次线圈的寄生容量、1次线圈的电感、变压器(1)的励磁电感、变压器(1)的线圈比之间的关系，使得在开关元件(6)的关断后，负载电容(4)的两端之间的电压的首次的峰值比第2次以后的峰值中的任一个值都大。
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公开(公告)号：CN104901580A
公开(公告)日：2015-09-09
申请号：CN201510094746.8
申请日：2015-03-03
Applicant: 株式会社岛津制作所
Inventor： 土生俊也
CPC classification number: H05H1/46 , H03H7/38 , H05H2001/4645
Abstract: 本发明涉及高频电源装置。在等离子体点亮开始时无需提高电源电压而使大电流在感应线圈中流过，从而提高点亮开始时的稳定性。在对直流电压进行切换的全桥驱动电路(13)、与包括等离子体生成用的感应线圈(21)的LC共振电路(19)之间，设置包括电感器(17)与电容器(18)的阻抗变换电路(16)。电容器(18)的电容能够切换成两个阶段，切换驱动部(23)负责该切换。在从等离子体熄灭了的状态起点亮时，使电容器(18)的电容相对变大，能够对LC共振电路(19)供给大电流。在等离子体点亮而成为稳定状态时，切换成使电容器(18)的电容相对小的状态，使阻抗匹配，以使得电力效率最大。
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公开(公告)号：CN104883129A
公开(公告)日：2015-09-02
申请号：CN201510091978.8
申请日：2015-02-28
Applicant: 株式会社岛津制作所
Inventor： 土生俊也
IPC: H03B5/08
CPC classification number: H05H1/46 , H03B5/06 , H03B5/1218 , H03B5/1228 , H03B5/1296 , H03B2200/0094 , H03L3/00 , H05H1/24 , H05H1/30 , H05H1/36 , H05H2001/4652 , H05H2001/4682
Abstract: 本发明涉及高频振荡电路。在用于ICP发光分析装置的等离子体生成用途等的大功率用的自激式高频振荡电路中，以低廉的成本来稳定地使自激振荡产生。在包括感应线圈(9)、电容器(36)等的LC共振电路(30)中，配置启动用变压器的次级绕组(38)，对与该绕组(38)磁耦合的初级绕组(5)连接由克拉普振荡电路等构成的启动部(6)。仅在启动时的一定期间内，使启动部(6)动作而通过初级绕组(5)、次级绕组(38)在LC共振电路(30)中感应出高频电流。由此，在与初级绕组(32、33、34、35)磁耦合的全桥驱动电路(10)中的各次级绕组(11、14、17、20)中流过电流，在MOSFET(13、16、19、22)的栅极-源极之间产生电压，MOSFET(13、16、19、22)的导通/截止动作开始，自激振荡开始。
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公开(公告)号：CN102221545B
公开(公告)日：2014-12-10
申请号：CN201110068383.2
申请日：2011-03-17
Applicant: 株式会社岛津制作所
Abstract: 本发明是有关于一种发光分光分析装置，其可抑制成分元素的光谱强度的不均一。该发光分光分析装置将蓄积在蓄放电单元中的能量供给至电极与试料之间的间隙中而产生脉冲发光，该发光分光分析装置包括：对在脉冲发光之前充电至所述蓄放电单元的能量进行检测的检测单元；以及对在脉冲发光之后残留于所述蓄放电单元的能量进行检测的检测单元。判定所检测的光是否为利用蓄积在蓄放电单元中的充分的能量来发出的光。
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