公开(公告)号：CN1034143C

公开(公告)日：1997-02-26

申请号：CN94107702.0

申请日：1994-06-30

Applicant: 株式会社岛津制作所

Inventor： 及川四郎 ,  竹本隆之 ,  加藤务 ,  铃木四郎 ,  谷冈健吉

IPC: G01T1/20 ,  H01L27/146

CPC classification number: G01T1/2018 ,  H01L27/146 ,  H01L27/14676

Abstract: 一种二维辐射探测器具有一种包括闪烁体、半透明电极膜、光电导膜和扫描开关层的多层结构。该扫描开关层包括以矩阵形式排列、并与光电导膜相接触的导体，对应于以矩阵形式排列的导体的多个FET，以及经由FET逐行依次将偏压加到矩阵导体的均匀平面导体，每个FET的漏极接连至矩阵导体之一，其源极连接至均匀平面导体，其栅极连接至驱动电路。半透明电极膜包括对应于各列矩阵导体的列导体，每个列导体连接至信号读出线。