公开(公告)号：CN1384384A

公开(公告)日：2002-12-11

申请号：CN02118611.1

申请日：2002-04-25

Applicant: 株式会社尼康 ,  株式会社东芝

Inventor： 鹤旨笃司 ,  水野次郎 ,  伊藤信一 ,  高桥理一郎 ,  江间达彦

IPC: G02B21/16

CPC classification number: G02B21/16

Abstract: 一种紫外线显微镜,具有用紫外光观察样品的紫外光观察装置;气体供给装置,在用紫外光进行观察中,向样品附近供给非活性气体;定时控制装置,控制通过气体供给装置进行的非活性气体的定时供给。定时控制装置控制气体供给装置,以在用紫外光进行样品的观察前,使非活性气体被予供给,同时至少在用紫外光进行观察中,使非活性气体被正式供给。

公开(公告)号：CN1221831C

公开(公告)日：2005-10-05

申请号：CN02118611.1

申请日：2002-04-25

Applicant: 株式会社尼康 ,  株式会社东芝

Inventor： 鹤旨笃司 ,  水野次郎 ,  伊藤信一 ,  高桥理一郎 ,  江间达彦

IPC: G02B21/16

CPC classification number: G02B21/16

Abstract: 一种紫外线显微镜，具有用紫外光观察样品的紫外光观察装置；气体供给装置，在用紫外光进行观察中，向样品附近供给非活性气体；定时控制装置，控制通过气体供给装置进行的非活性气体的定时供给。定时控制装置控制气体供给装置，以在用紫外光进行样品的观察前，使非活性气体被预供给，同时至少在用紫外光进行观察中，使非活性气体被正式供给。