公开(公告)号：CN104937138A

公开(公告)日：2015-09-23

申请号：CN201480005250.2

申请日：2014-01-16

申请人： 株式会社尼康

发明人： 穆罕默德·赛义德·塞帕西扎马蒂 ,  关本达也

IPC分类号： C23C24/04 ,  B05B7/14 ,  C23C4/00 ,  H01M4/04

CPC分类号： H01M4/0419 ,  B05B7/1486 ,  B05D1/02 ,  C23C4/00 ,  H01M4/139 ,  H01M10/0525

摘要： 喷射用喷嘴包括：喷射开口，喷射粒子和气体的混合流体；第一流路，沿第一方向延伸至喷射开口；分流区域，设置在第一流路的与喷射开口相反的一侧，并由沿与第一方向交叉的方向排列的多个分流路径构成；第二流路，以与第一方向成预定角度的第二方向使粒子在分流区域汇流；以及第三流路，使气体向第一流路喷射。