公开(公告)号：CN100345252C

公开(公告)日：2007-10-24

申请号：CN03802931.6

申请日：2003-01-29

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 清水康男 ,  蛭川茂 ,  铃木广介 ,  松山知行

IPC: H01L21/027 ,  G03F7/20

CPC classification number: G03B21/18 ,  G03B27/42 ,  G03F7/70258 ,  G03F7/705 ,  G03F7/70508 ,  G03F7/70525 ,  G03F7/706

Abstract: 第二通信服务器(930)通过第一通信服务器(920)获得曝光装置(9221～9223)中调节单元的调节信息以及涉及当作基准的曝光条件下投影光学系统成像质量(如，波前像差)的信息，并根据该信息计算目标曝光条件下调节单元的最佳调节量。此外，第二通信服务器通过第一通信服务器(920)获得调节的调节信息和投影光学系统成像质量的实际测量数据，并再根据该信息计算在目标曝光条件下调节单元的最佳调节量。第二通信服务器根据计算结果，通过第一通信服务器(920)控制曝光装置中的调节单元。

公开(公告)号：CN1625798A

公开(公告)日：2005-06-08

申请号：CN03802931.6

申请日：2003-01-29

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 清水康男 ,  蛭川茂 ,  铃木广介 ,  松山知行

IPC: H01L21/027 ,  G03F7/20

CPC classification number: G03B21/18 ,  G03B27/42 ,  G03F7/70258 ,  G03F7/705 ,  G03F7/70508 ,  G03F7/70525 ,  G03F7/706

Abstract: 第二通信服务器(930)通过第一通信服务器(920)获得曝光装置(9221～9223)中调节单元的调节信息以及涉及当作基准的曝光条件下投影光学系统成像质量(如，波前像差)的信息，并根据该信息计算目标曝光条件下调节单元的最佳调节量。此外，第二通信服务器通过第一通信服务器(920)获得调节的调节信息和投影光学系统成像质量的实际测量数据，并再根据该信息计算在目标曝光条件下调节单元的最佳调节量。第二通信服务器根据计算结果，通过第一通信服务器(920)控制曝光装置中的调节单元。