公开(公告)号：CN112859396A

公开(公告)日：2021-05-28

申请号：CN202110085216.2

申请日：2016-08-30

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 八田澄夫 ,  白泽正裕 ,  木南贵之 ,  五十岚淑人

IPC: G02F1/13 ,  G03F7/20 ,  H01L21/683

Abstract: 本发明的保持光罩(M)的光罩载台装置(14)具备：支承块(50)，其从下方支承光罩(M)；吸附垫(46)，其具有对由支承块(50)支承且因光罩(M)的自重而挠曲的光罩(M)的面进行保持的保持面，使保持面以沿着挠曲的光罩(M)的面的方式可动并利用保持面保持光罩；和吸引口(46b)，其将挠曲的光罩(M)吸附于保持面。

公开(公告)号：CN108351597B

公开(公告)日：2021-02-09

申请号：CN201680062678.X

申请日：2016-08-30

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 八田澄夫 ,  白泽正裕 ,  木南贵之 ,  五十岚淑人

IPC: G03F7/20 ,  G02F1/13 ,  H01L21/683

Abstract: 本发明的保持光罩(M)的光罩载台装置(14)具备：支承块(50)，其从下方支承光罩(M)；吸附垫(46)，其具有对由支承块(50)支承且因光罩(M)的自重而挠曲的光罩(M)的面进行保持的保持面，使保持面以沿着挠曲的光罩(M)的面的方式可动并利用保持面保持光罩；和吸引口(46b)，其将挠曲的光罩(M)吸附于保持面。

公开(公告)号：CN112859396B

公开(公告)日：2024-01-05

申请号：CN202110085216.2

申请日：2016-08-30

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 八田澄夫 ,  白泽正裕 ,  木南贵之 ,  五十岚淑人

IPC: G02F1/13 ,  G03F7/20 ,  H01L21/683

Abstract: 本发明的保持光罩(M)的光罩载台装置(14)具备：支承块(50)，其从下方支承光罩(M)；吸附垫(46)，其具有对由支承块(50)支承且因光罩(M)的自重而挠曲的光罩(M)的面进行保持的保持面，使保持面以沿着挠曲的光罩(M)的面的方式可动并利用保持面保持光罩；和吸引口(46b)，其将挠曲的光罩(M)吸附于保持面。

公开(公告)号：CN108351597A

公开(公告)日：2018-07-31

申请号：CN201680062678.X

申请日：2016-08-30

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 八田澄夫 ,  白泽正裕 ,  木南贵之 ,  五十岚淑人

IPC: G03F7/20 ,  G02F1/13 ,  H01L21/683

Abstract: 本发明的保持光罩(M)的光罩载台装置(14)具备：支承块(50)，其从下方支承光罩(M)；吸附垫(46)，其具有对由支承块(50)支承且因光罩(M)的自重而挠曲的光罩(M)的面进行保持的保持面，使保持面以沿着挠曲的光罩(M)的面的方式可动并利用保持面保持光罩；和吸引口(46b)，其将挠曲的光罩(M)吸附于保持面。