公开(公告)号：CN102518954B

公开(公告)日：2015-04-22

申请号：CN201110306079.7

申请日：2007-08-30

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 白数广 ,  青木保夫 ,  小山元夫 ,  菊池孝幸

IPC: G03F7/20

CPC classification number: F21V19/006 ,  G03F7/70016 ,  H01J5/56 ,  H01J61/523 ,  H01J61/822

Abstract: 本发明提供一种能够容易且短时间内进行放电灯相对于安装机构的安装等的光源装置。本发明的光源装置，具备：具有形成发光部的玻璃管(25)和与其连结的灯头部(26)的放电灯(1)；经由灯头部(26)保持放电灯(1)的安装装置(31)，其中，灯头部(26)具有与安装装置(31)的定位板(50)抵接的凸缘部(26a)；被施加将凸缘部(26a)向定位板(50)推压的推压力的固定部(26h)，安装装置(31)具有利用压缩螺旋弹簧(44A)推靠固定部(26h)的固定用臂(55A)。

公开(公告)号：CN101512712B

公开(公告)日：2011-12-07

申请号：CN200780032265.8

申请日：2007-08-30

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 白数广 ,  青木保夫 ,  小山元夫 ,  菊池孝幸

IPC: H01J5/50 ,  H01J61/86 ,  F21V29/00 ,  H01L21/027 ,  H01J61/52 ,  H01R33/22

CPC classification number: F21V19/006 ,  G03F7/70016 ,  H01J5/56 ,  H01J61/523 ,  H01J61/822

Abstract: 本发明提供一种能够容易且短时间内进行放电灯相对于安装机构的安装等的光源装置。本发明的光源装置，具备：具有形成发光部的玻璃管(25)和与其连结的灯头部(26)的放电灯(1)；经由灯头部(26)保持放电灯(1)的安装装置(31)，其中，灯头部(26)具有与安装装置(31)的定位板(50)抵接的凸缘部(26a)；被施加将凸缘部(26a)向定位板(50)推压的推压力的固定部(26h)，安装装置(31)具有利用压缩螺旋弹簧(44A)推靠固定部(26h)的固定用臂(55A)。

公开(公告)号：CN1708828A

公开(公告)日：2005-12-14

申请号：CN200380102080.1

申请日：2003-11-25

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 小山元夫 ,  田中正司 ,  加藤一之 ,  登道男

IPC: H01L21/027 ,  G03F7/20 ,  G02B19/00

Abstract: 一种曝光装置具有固体光源。曝光装置使从光源1射出的光束导至光罩M，将上述光罩的图案转印于感旋光性基板P上。上述曝光装置包括照明光学系统，配置于上述光源1与上述光罩之间的光路中，依据从上述光源的光束照明上述光罩。上述光源1具有多数个固体光源的固体光源单元，其中，多数个固体光源配列构成为使上述感旋光性基板上的照度值成为30mW/cm2以上。

公开(公告)号：CN102518954A

公开(公告)日：2012-06-27

申请号：CN201110306079.7

申请日：2007-08-30

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 白数广 ,  青木保夫 ,  小山元夫 ,  菊池孝幸

IPC: F21S2/00 ,  F21V21/00 ,  F21V29/00 ,  G03F7/20

CPC classification number: F21V19/006 ,  G03F7/70016 ,  H01J5/56 ,  H01J61/523 ,  H01J61/822

Abstract: 本发明提供一种能够容易且短时间内进行放电灯相对于安装机构的安装等的光源装置。本发明的光源装置，具备：具有形成发光部的玻璃管(25)和与其连结的灯头部(26)的放电灯(1)；经由灯头部(26)保持放电灯(1)的安装装置(31)，其中，灯头部(26)具有与安装装置(31)的定位板(50)抵接的凸缘部(26a)；被施加将凸缘部(26a)向定位板(50)推压的推压力的固定部(26h)，安装装置(31)具有利用压缩螺旋弹簧(44A)推靠固定部(26h)的固定用臂(55A)。

公开(公告)号：CN101512712A

公开(公告)日：2009-08-19

申请号：CN200780032265.8

申请日：2007-08-30

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 白数广 ,  青木保夫 ,  小山元夫 ,  菊池孝幸

IPC: H01J5/50 ,  H01J61/86 ,  F21V29/00 ,  H01L21/027 ,  H01J61/52 ,  H01R33/22

CPC classification number: F21V19/006 ,  G03F7/70016 ,  H01J5/56 ,  H01J61/523 ,  H01J61/822

Abstract: 本发明提供一种能够容易且短时间内进行放电灯相对于安装机构的安装等的光源装置。本发明的光源装置，具备：具有形成发光部的玻璃管(25)和与其连结的灯头部(26)的放电灯(1)；经由灯头部(26)保持放电灯(1)的安装装置(31)，其中，灯头部(26)具有与安装装置(31)的定位板(50)抵接的凸缘部(26a)；被施加将凸缘部(26a)向定位板(50)推压的推压力的固定部(26h)，安装装置(31)具有利用压缩螺旋弹簧(44A)推靠固定部(26h)的固定用臂(55A)。