公开(公告)号：CN104837886A

公开(公告)日：2015-08-12

申请号：CN201380061534.9

申请日：2013-11-11

Applicant: 株式会社大赛璐

Inventor： 汤川隆生 ,  三宅弘人 ,  水田智也

IPC: C08G59/20 ,  B29C59/02 ,  H01L21/027

CPC classification number: B29C33/58 ,  B29C59/022 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  C08G59/022 ,  G03F7/0002 ,  G03F7/038

Abstract: 本发明的目的在于，提供一种无需对模具实施脱模处理而脱模性良好且可连续转印的微细结构体的制造方法。本发明的微细结构体的制造方法包括：将液态的光固化性被转印材料层夹入到基板和表面形成凹凸图案的模具之间并使其成形，然后，对所述被转印材料层进行曝光而形成光固化层，接着使所述模具从所述光固化层脱模而制造微细结构体，所述模具由具有硅氧烷键的有机高分子化合物构成，所述被转印材料层为由含有阳离子聚合性化合物(A)及光产酸剂(B)的光固化性组合物形成的层，所述光固化性组合物含有选自下述式(I)所示的化合物及下述式(II)所示的化合物中的至少1种化合物作为阳离子聚合性化合物(A)。