公开(公告)号：CN104937006B

公开(公告)日：2018-04-10

申请号：CN201380069813.X

申请日：2013-12-20

Applicant: 株式会社大赛璐

Inventor： 藤川武 ,  久保隆司 ,  山本拓也

IPC: C08G59/68 ,  C08G59/24 ,  H01L21/027

CPC classification number: C08G59/688

Abstract: 本发明提供纳米压印用光固化性组合物，其通过薄薄涂布于基板并进行光照射可以迅速固化形成薄膜，固化收缩小，可将模具的微细的图案精度良好地转印。本发明的纳米压印用光固化性组合物包含下述成分(A)及成分(B)。成分(A)：下述式(a‑1)表示的化合物(式中，R1～R18表示氢原子、卤原子、任选含有氧原子或卤原子的烃基，或任选具有取代基的烷氧基。X表示单键或连接基团)。成分(B)：具有氟代烷基氟磷酸阴离子的光阳离子聚合引发剂。

公开(公告)号：CN107533957A

公开(公告)日：2018-01-02

申请号：CN201680024507.8

申请日：2016-05-20

Applicant: 株式会社大赛璐

Inventor： 山本拓也 ,  藤川武

IPC: H01L21/027 ,  B29C59/02 ,  C08G59/24

CPC classification number: B29C59/02 ,  C08G59/24 ,  H01L21/027

Abstract: 本发明提供能够通过进行光照而形成耐热性及耐蚀刻性优异的固化物的纳米压印用光固化性组合物。本发明的纳米压印用光固化性组合物含有阳离子固化性化合物，其中，所述阳离子固化性化合物包含下述式(a)所示的化合物，所述阳离子固化性化合物的大西参数的重量平均值为3.2以下、环参数的重量平均值为0.4以上，将所述纳米压印用光固化性组合物的固化物于250℃保持30分钟时的基于热重‑差热同时测定的减重率为10％以下。

公开(公告)号：CN119301166A

公开(公告)日：2025-01-10

申请号：CN202380044364.7

申请日：2023-06-05

Applicant: 株式会社大赛璐

Inventor： 山本拓也 ,  竹中启起

IPC: C08F220/10 ,  C08F220/38 ,  G02B1/04

Abstract: 本发明提供制成固化物时具有高折射率、且为低粘度的固化性组合物。所述固化性组合物含有含芴骨架的(甲基)丙烯酸酯、含硫原子的(甲基)丙烯酸酯、以及纳米氧化锆粒子。另外，优选进一步含有其它单官能(甲基)丙烯酸酯、自由基聚合引发剂、以及反应延迟剂，上述固化性组合物的折射率优选为1.65以上，进一步，优选粘度为10000mPa·s以下。

公开(公告)号：CN105900211A

公开(公告)日：2016-08-24

申请号：CN201580004327.9

申请日：2015-01-06

Applicant: 株式会社大赛璐

Inventor： 藤川武 ,  山本拓也

IPC: H01L21/027

CPC classification number: G03F7/0002 ,  G03F7/0007 ,  G03F7/0048 ,  G03F7/038 ,  H01L33/0075 ,  H01L33/20

Abstract: 本发明提供一种在晶片上制作均一的涂膜之后即使放置一定时间也不会发生树脂的分布不均，可以在保持均一的膜厚的情况下精度良好地转印形成模具的微细图案的纳米压印用光固化性组合物。本发明的纳米压印用光固化性组合物包含下述成分(A)、成分(B)、成分(C)及成分(D)，上述成分(C)相对于光固化性组合物总量(100重量％)为1～30重量％。成分(A)：下述式(1)所示的阳离子固化性化合物；成分(B)：光阳离子聚合引发剂；成分(C)：含有羟基的沸点为100℃～210℃(760mmHg)的溶剂；成分(D)：不含有羟基、沸点为140℃～210℃(760mmHg)、溶解度参数为8.0～10.0(cal/cm3)1/2的具有单体溶解性的溶剂。

公开(公告)号：CN104937006A

公开(公告)日：2015-09-23

申请号：CN201380069813.X

申请日：2013-12-20

Applicant: 株式会社大赛璐

Inventor： 藤川武 ,  久保隆司 ,  山本拓也

IPC: C08G59/68 ,  C08G59/24 ,  H01L21/027

CPC classification number: C08G59/688

Abstract: 本发明提供纳米压印用光固化性组合物，其通过薄薄涂布于基板并进行光照射可以迅速固化形成薄膜，固化收缩小，可将模具的微细的图案精度良好地转印。本发明的纳米压印用光固化性组合物包含下述成分(A)及成分(B)。成分(A)：下述式(a-1)表示的化合物(式中，R1～R18表示氢原子、卤原子、任选含有氧原子或卤原子的烃基，或任选具有取代基的烷氧基。X表示单键或连接基团)。成分(B)：具有氟代烷基氟磷酸阴离子的光阳离子聚合引发剂。