公开(公告)号：CN109891744A

公开(公告)日：2019-06-14

申请号：CN201780066350.X

申请日：2017-09-28

Applicant: 株式会社大真空

Inventor： 山下弘晃

IPC: H03H3/04

Abstract: 本发明的目的在于提供一种能对应于超小型化、且能不降低频率调整精度地进行频率调整的压电振动器件的频率调整方法。本发明所涉及的音叉型石英晶体谐振器的频率调整方法是通过减少音叉型石英晶体振动片(1)的振动臂(31、32)上形成的调整用金属膜(W)的质量，来进行频率调整，该方法包括，通过将调整用金属膜(W)的一部分薄壁化或去除而进行频率的粗调整的粗调整工序、和通过将粗调整工序中从所述调整用金属膜(W)产生的生成物(W1、W2)的至少一部分薄壁化或去除而进行频率的微调整的微调整工序。

公开(公告)号：CN110235363A

公开(公告)日：2019-09-13

申请号：CN201880008428.7

申请日：2018-03-22

Applicant: 株式会社大真空

Inventor： 山下弘晃

IPC: H03H9/19 ,  H03H9/215

Abstract: 各振动臂的正背的两主面电极通过贯通基部的正背面的各贯通电极而分别电性连接，并且各振动臂的正背的两主面电极的一主面电极通过以经过两振动臂之间的交叉部的方式形成的引绕配线而电性连接于侧面电极，通过该侧面电极而电性连接于两主面电极的另一主面电极。

公开(公告)号：CN111200413B

公开(公告)日：2024-07-12

申请号：CN201911080200.1

申请日：2019-11-07

Applicant: 株式会社大真空

Inventor： 藤井智 ,  山下弘晃 ,  丸尾昌辉

IPC: H03H9/02

Abstract: 提供一种尽可能地降低电磁波噪声的影响的压电设备。在收纳有压电振动片(3)的基座(4)中形成有与压电振动片(3)的一对连接电极连接的一对搭载用电极(7a、7b)以及从一个搭载用电极(7a)引出的布线图案(9)，在布线图案(9)的下方以与该布线图案(9)在俯视时重叠的方式形成有屏蔽用图案(44)，该屏蔽用图案(44)被电连接到基座4的外底面的接地用的外部连接端子。

公开(公告)号：CN116318022A

公开(公告)日：2023-06-23

申请号：CN202310350590.X

申请日：2017-11-01

Applicant: 株式会社大真空

Inventor： 山下弘晃

IPC: H03H9/02 ,  H03H9/215 ,  H03H3/04

Abstract: 本发明公开一种音叉型振动片、音叉型振子及其制造方法。对在晶圆状态下对音叉型振动片的较厚的频率调整用金属膜照射光束而进行频率粗调整时产生的在频率调整用金属膜端部上以起毛刺的状态突出的突起部分进行加压而将其压扁，由此防止上述突起部分因冲击而缺损，从而抑制频率变动。

公开(公告)号：CN109891744B

公开(公告)日：2023-06-02

申请号：CN201780066350.X

申请日：2017-09-28

Applicant: 株式会社大真空

Inventor： 山下弘晃

IPC: H03H3/04

Abstract: 本发明的目的在于提供一种能对应于超小型化、且能不降低频率调整精度地进行频率调整的压电振动器件的频率调整方法。本发明所涉及的音叉型石英晶体谐振器的频率调整方法是通过减少音叉型石英晶体振动片(1)的振动臂(31、32)上形成的调整用金属膜(W)的质量，来进行频率调整，该方法包括，通过将调整用金属膜(W)的一部分薄壁化或去除而进行频率的粗调整的粗调整工序、和通过将粗调整工序中从所述调整用金属膜(W)产生的生成物(W1、W2)的至少一部分薄壁化或去除而进行频率的微调整的微调整工序。

公开(公告)号：CN116648781A

公开(公告)日：2023-08-25

申请号：CN202180084573.5

申请日：2021-12-13

Applicant: 株式会社大真空

Inventor： 石野悟 ,  山下弘晃

IPC: H01L23/04

Abstract: 本发明的压电振动器件中，晶体振动片(10)采用在振动部(11)与外框部(12)之间设置剪切部(10a)的结构，形成在第一密封构件(20)的第一主面(201)上的金属膜(28)经由形成在外框部(12)的内壁面(105)上的第一内部布线(105)，与形成在第二密封构件(30)的不面向内部空间的一侧的第二主面(302)上的外部电极端子(32)电连接。

公开(公告)号：CN109891746B

公开(公告)日：2023-07-21

申请号：CN201780066196.6

申请日：2017-12-19

Applicant: 株式会社大真空

Inventor： 藤井智 ,  山下弘晃

IPC: H03H9/19 ,  H03H9/215

Abstract: 在封装体的基座突设有枕部，该枕部抵接于音叉型振动片的臂部的前端以外的抵接部，臂部的抵接于上述枕部的抵接部设为未形成有电极的无电极区域，且通过与枕部的抵接而防止因电极磨削产生频率的变动。

公开(公告)号：CN111200413A

公开(公告)日：2020-05-26

申请号：CN201911080200.1

申请日：2019-11-07

Applicant: 株式会社大真空

Inventor： 藤井智 ,  山下弘晃 ,  丸尾昌辉

IPC: H03H9/02

Abstract: 提供一种尽可能地降低电磁波噪声的影响的压电设备。在收纳有压电振动片(3)的基座(4)中形成有与压电振动片(3)的一对连接电极连接的一对搭载用电极(7a、7b)以及从一个搭载用电极(7a)引出的布线图案(9)，在布线图案(9)的下方以与该布线图案(9)在俯视时重叠的方式形成有屏蔽用图案(44)，该屏蔽用图案(44)被电连接到基座4的外底面的接地用的外部连接端子。

公开(公告)号：CN110235363B

公开(公告)日：2023-05-26

申请号：CN201880008428.7

申请日：2018-03-22

Applicant: 株式会社大真空

Inventor： 山下弘晃

IPC: H03H9/19 ,  H03H9/215

Abstract: 各振动臂的正背的两主面电极通过贯通基部的正背面的各贯通电极而分别电性连接，并且各振动臂的正背的两主面电极的一主面电极通过以经过两振动臂之间的交叉部的方式形成的引绕配线而电性连接于侧面电极，通过该侧面电极而电性连接于两主面电极的另一主面电极。