公开(公告)号：CN106996513A

公开(公告)日：2017-08-01

申请号：CN201610892358.9

申请日：2016-10-13

Applicant: 株式会社堀场STEC

Inventor： 西里洋 ,  泷尻兴太郎 ,  南雅和 ,  寺岡温子

IPC: F17D1/02 ,  F17D3/01 ,  F17D3/18

CPC classification number: C23C16/52 ,  C23C16/4481 ,  C23C16/4482 ,  G01N21/3504 ,  G01N21/84 ,  G01N33/0004 ,  G01N2021/8411 ,  G01N2021/8578 ,  G05D11/00 ,  G05D21/02 ,  Y10T137/0329 ,  Y10T137/2499 ,  Y10T137/2509 ,  F17D1/02 ,  F17D3/01 ,  F17D3/18

Abstract: 本发明提供一种气体控制系统，其可以防止出现由材料气体再液化的液滴或材料的热分解所产生的微粒对浓度或流量控制的影响，以预先设定的浓度或流量供给混合气体。该气体控制系统包括：第一阀，其设置在所述载气管线上或设置在所述供气管线上；流量控制机构，其设于稀释气体管线上，具有流量传感器及第二阀；非接触式的第一浓度传感器；第一阀控制部；稀释气体设定流量计算部，其基于预先设定的所述稀释后混合气体的总设定流量以及所述稀释后测定浓度，计算应该在所述稀释气体管线中流动的稀释气体的流量即稀释气体设定流量；第二阀控制部，其为使所述稀释气体设定流量与所述流量传感器所测定的测定流量的偏差减小而控制所述第二阀的开度。