氟化氢吸附剂的制造方法
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN119072354A

    公开(公告)日:2024-12-03

    申请号:CN202380035800.4

    申请日:2023-09-07

    Abstract: 提供一种氟化氢的吸附容量大的氟化氢吸附剂的制造方法。一种氟化氢吸附剂的制造方法,具备吸附工序和脱离工序,吸附工序使含氟化氢的气体与金属氟化物接触而使含氟化氢的气体中的氟化氢吸附于金属氟化物,含氟化氢的气体含有氟化氢和用于稀释该氟化氢的稀释气体并且氟化氢的浓度为0.5体积%以上且60体积%以下,使吸附了氟化氢的金属氟化物中的氟化氢的比例为2质量%以上且25质量%以下,脱离工序将在吸附工序中吸附了氟化氢的金属氟化物在热处理用气氛气体中加热到240℃以下的温度,使被吸附上的氟化氢从金属氟化物脱离。

    氟化氢气体去除装置和氟化氢气体的去除方法

    公开(公告)号:CN116963816A

    公开(公告)日:2023-10-27

    申请号:CN202280018201.7

    申请日:2022-02-10

    Abstract: 提供一种氟化氢气体去除装置,能够长时间地连续进行从含有氟化氢气体的混合气体中去除氟化氢气体的去除处理而不用将其停止。氟化氢气体去除装置能够从含有氟化氢气体和其他种类气体的混合气体中去除氟化氢气体。该氟化氢气体去除装置具备:实行通过使混合气体与从混合气体中去除氟化氢气体的去除剂接触而从混合气体中去除氟化氢气体的处理的氟化氢气体去除处理机(10);向氟化氢气体去除处理机(10)供给去除剂的去除剂供给机(20);对使用完毕的去除剂实施使去除剂的氟化氢气体去除性能提高的再生处理的去除剂再生处理机(30);以及输送再生处理完毕的去除剂并将其向去除剂供给机(20)供给的再生处理完毕去除剂输送机(40)。

    含有亚硝酰氟的气体的分析方法和气体中的亚硝酰氟的除去方法

    公开(公告)号:CN118355273A

    公开(公告)日:2024-07-16

    申请号:CN202280080174.6

    申请日:2022-10-27

    Abstract: 提供能够高精度且安全地对含有氧气和氮气中的至少一者和亚硝酰氟的混合气体中所含有的氧气和氮气进行定量的含有亚硝酰氟的气体的分析方法。含有亚硝酰氟的气体的分析方法具备:转化工序,使混合气体接触能与亚硝酰氟反应生成氮氧化物的反应剂,通过亚硝酰氟与反应剂的反应将亚硝酰氟转化为氮氧化物;除去工序,使经过转化工序后的气体接触能吸附氮氧化物的吸附剂,通过氮氧化物的吸附从所述气体中除去氮氧化物;以及,分析工序,分析经过除去工序后的气体,进行氧气和氮气的定量。

    氟化氢气体去除装置和氟化氢气体的去除方法

    公开(公告)号:CN116963817A

    公开(公告)日:2023-10-27

    申请号:CN202280018214.4

    申请日:2022-02-10

    Abstract: 提供一种氟化氢气体去除装置,其在实行使用去除剂从含有氟化氢气体的混合气体中去除氟化氢气体的去除处理时,不易产生去除剂的粘连。一种氟化氢气体去除装置,能够从含有氟化氢气体和其他种类气体的混合气体中去除氟化氢气体。该氟化氢气体去除装置具备:实行通过使混合气体与从混合气体中去除氟化氢气体的去除剂接触而从混合气体中去除氟化氢气体的处理的氟化氢气体去除处理机(10);向氟化氢气体去除处理机(10)供给去除剂的去除剂供给机(20);使收纳在氟化氢气体去除处理机(10)内的去除剂在氟化氢气体去除处理机(10)内移动的去除剂移动机;以及将使用完毕的去除剂从氟化氢气体去除处理机(10)排出的去除剂排出机。

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