公开(公告)号：CN101519315A

公开(公告)日：2009-09-02

申请号：CN200910126018.5

申请日：2009-02-27

Applicant: 株式会社伊奈

Inventor： 外山公也 ,  佐藤一博 ,  村口幸人 ,  长浜真之介

IPC: C04B38/00 ,  C04B38/06 ,  H01L21/00

Abstract: 本发明提供一种使平板显示器基板等玻璃基板难以滑动，且强度很高的玻璃基板热处理平台，并且是一种用于在其上表面装载玻璃基板进行热处理的平台，具有多孔区域P和致密区域T。多孔区域P具有三维网状结构的连通气孔，其空气透过率优选为0.5～10×10－3cm2。并且优选由氧化锂系烧结体所构成。

公开(公告)号：CN101519314A

公开(公告)日：2009-09-02

申请号：CN200910126017.0

申请日：2009-02-27

Applicant: 株式会社伊奈

Inventor： 佐藤一博 ,  外山公也 ,  村口幸人 ,  长浜真之介

IPC: C04B38/00 ,  C04B38/06 ,  H01L21/00

Abstract: 本发明提供一种平板显示器基板等玻璃基板难以滑动的玻璃基板热处理平台，是一种用于在其上表面装载玻璃基板进行热处理的平台，该玻璃基板热处理平台由在20～600℃时的热膨胀系数为0～10×10－7/℃，并且具有三维网状结构的连通气孔的多孔陶瓷烧结体所构成。其空气透过率优选为0.5～10×10－3cm2。并且优选由氧化锂系烧结体所构成。