公开(公告)号：CN101315971A

公开(公告)日：2008-12-03

申请号：CN200810098997.3

申请日：2008-05-28

Applicant: 株式会社丰田自动织机

Inventor： 曾根宏隆 ,  大室涉 ,  牟田光治 ,  山本克哉

IPC: H01L51/56 ,  H05B33/10

CPC classification number: H01L51/5206 ,  H01L51/5237

Abstract: 本发明涉及一种有机EL(电致发光)元件衬底预处理方法及有机EL元件制造方法。这种用于处理衬底的方法，在该衬底上形成由金属氧化物构成的透明电极，之后在该透明电极上形成有机电致发光EL元件。根据该方法，所述衬底容纳于设置有加热器的烘干室中。加热所述衬底，同时氧气和氮气的混合气体被引入所述烘干室中以便置换所述烘干室中的气体。所述混合气体以每分钟大于等于所述烘干室总容积的1/60且小于等于所述处理室总容积的1/15的量被引入所述烘干室中。根据该方法，湿气被去除，同时对由金属氧化物构成的所述透明电极进行适当的表面处理。