-
公开(公告)号：CN104056768B
公开(公告)日：2016-10-19
申请号：CN201410080007.9
申请日：2014-03-06
Applicant: 株式会社东芝 , 芝浦机械电子株式会社
CPC classification number: B23K20/10 , B06B1/0253 , B06B3/00 , B29C65/08
Abstract: 本发明的一个实施方式的超声波接合装置具备超声波振子、前端工具、超声变幅杆和超声波振荡器。上述超声波振子接受电压而产生超声波振动。前端工具将负荷和超声波振动施加于接合对象物。上述超声变幅杆将负荷和上述超声波振子振荡的超声波振动向上述前端工具传递。上述超声波振荡器是具备振荡电路并将从上述振荡电路振荡的电压向上述超声波振子供给的超声波振荡器，具备控制装置，该控制装置根据上述振荡电路供给的电压和电流来检测电压反射率并且以使上述电压反射率最小的方式对上述振荡电路振荡的电压的频率进行控制。
-
公开(公告)号：CN104056768A
公开(公告)日：2014-09-24
申请号：CN201410080007.9
申请日：2014-03-06
Applicant: 株式会社东芝 , 芝浦机械电子株式会社
CPC classification number: B23K20/10 , B06B1/0253 , B06B3/00 , B29C65/08
Abstract: 本发明的一个实施方式的超声波接合装置具备超声波振子、前端工具、超声变幅杆和超声波振荡器。上述超声波振子接受电压而产生超声波振动。前端工具将负荷和超声波振动施加于接合对象物。上述超声变幅杆将负荷和上述超声波振子振荡的超声波振动向上述前端工具传递。上述超声波振荡器是具备振荡电路并将从上述振荡电路振荡的电压向上述超声波振子供给的超声波振荡器，具备控制装置，该控制装置根据上述振荡电路供给的电压和电流来检测电压反射率并且以使上述电压反射率最小的方式对上述振荡电路振荡的电压的频率进行控制。
-
公开(公告)号：CN1282399C
公开(公告)日：2006-10-25
申请号：CN02819904.9
申请日：2002-09-30
Applicant: 芝浦机械电子株式会社
Inventor： 栗山升
IPC: H05H1/00 , H01J37/317
CPC classification number: C23C14/564 , H01J37/32045 , H01J37/32082 , H01J37/32935 , H01J2237/0206 , H01L21/67069
Abstract: 在检测具有高频电源PS的辉光放电装置GD内的电弧放电的方法中，当dVr/dt-dVf/dt增加到第一电平以上时，向高频电源PS输出切断脉冲时间T1，以停止辉光放电装置GD的电力供应，其中Vf和Vr分别是施加给辉光放电装置GD的行波电压和反射波电压。当在辉光放电装置的电力供应终止之后的预定时间To内Vr/Vf增大为第二电平或更高的电平时，判定在辉光放电装置中已经发生了电弧放电。
-
公开(公告)号：CN1565148A
公开(公告)日：2005-01-12
申请号：CN02819904.9
申请日：2002-09-30
Applicant: 芝浦机械电子株式会社
Inventor： 栗山升
IPC: H05H1/00
CPC classification number: C23C14/564 , H01J37/32045 , H01J37/32082 , H01J37/32935 , H01J2237/0206 , H01L21/67069
Abstract: 在检测具有高频电源PS的辉光放电装置GD内的电弧放电的方法中，当dVr/dt－dVf/dt增加到第一电平以上时，向高频电源PS输出切断脉冲时间T1，以停止辉光放电装置GD的电力供应，其中Vf和Vr分别是施加给辉光放电装置GD的行波电压和反射波电压。当在辉光放电装置的电力供应终止之后的预定时间To内Vr/Vf增大为第二电平或更高的电平时，判定在辉光放电装置中已经发生了电弧放电。
-
-
-
Search Results
4
records
(took 0.027 seconds)
