Patent search ap:("株式会社东芝") AND inv:"高梨健太" Page 1

1.

发明公开
光学检查方法及存储介质以及使用了该光学检查方法的光学检查装置审中-实审

公开(公告)号：CN118687505A

公开(公告)日：2024-09-24

申请号：CN202311433930.1

申请日：2023-10-31

Applicant: 株式会社东芝

Inventor： 大野博司 , 冈野英明 , 高梨健太 , 神川卓大 , 加纳宏弥

IPC: G01B11/25

Abstract: 本实施方式提供一种光学检查方法以及存储介质、以及光学检查装置，光学检查方法具备：将明暗周期性地变化的第1基本调制模式的第1图案光投影于物体；对投影有第1图案光的物体进行摄像而获取第1图像；将明暗相对于第1基本调制模式反转的第1反转调制模式的第2图案光投影于物体；对投影有第2图案光的物体进行摄像而获取第2图像；以及生成至少基于第1图像和第2图像抽取的强调了进行特异的光散射的特异区域的特异光散射图像。

Patent Agency Ranking