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公开(公告)号：CN1438668A
公开(公告)日：2003-08-27
申请号：CN03120057.5
申请日：2003-01-31
Applicant: 株式会社东芝
IPC: H01J9/14
Abstract: 一种荫罩的制造方法，包括：在带状金属薄板7的第1主表面上利用第1照相凹版滚筒16涂敷耐腐蚀层涂敷液22的工序，该带状金属薄板7包括具有多个凹部的第1主表面，以及与第1主表面相反一侧的、形成了具有多个开口的抗蚀剂层的第2主表面；在从第2主表面侧用支承滚筒29支持所述带状金属薄板7的状态下，利用压入滚筒28，将耐腐蚀层涂敷液22填充到所述第1主表面的凹部中的工序；以及利用第2照相凹版滚筒16控制所述带状金属薄板7的第1主表面的耐腐蚀层涂敷液22的膜厚的工序。
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