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公开(公告)号：CN119525697A
公开(公告)日：2025-02-28
申请号：CN202411092109.2
申请日：2024-08-09
Applicant: 株式会社东海理化电机制作所
Inventor： 黒岩亮太
IPC: B23K26/042 , B23K26/06 , B23K26/064 , H10H20/01
Abstract: 本发明提供一种激光光照射装置及对准调整方法，进一步提高激光光的照射位置的精度。激光光照射装置，包括：激光光源，射出激光光；基板载台，载置被照射了激光光的安装基板；掩模，设置于激光光源与基板载台之间，并通过多个开口将激光光分离；微透镜阵列，设置于掩模的后级，通过多个微透镜使分别透过多个开口的激光光聚光；第一照相机，对透过设置于掩模的第一标记开口并利用设置于微透镜阵列的微透镜聚光后的照明光进行拍摄；以及第二照相机，对设置于微透镜阵列的第二标记进行拍摄，激光光照射装置基于照明光的拍摄结果调整掩模的平面位置，并且基于第二标记的拍摄结果调整掩模及所述微透镜阵列的平面位置。
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