公开(公告)号：CN101456142A

公开(公告)日：2009-06-17

申请号：CN200810188113.3

申请日：2008-12-12

Applicant: 株式会社东北宏桥技术 ,  索尼株式会社

Inventor： 高伟 ,  卢泳辰 ,  荒井义和 ,  小田桐广和

IPC: B23Q17/09

CPC classification number: B24B1/04 ,  B23B29/125 ,  B23B2226/31 ,  B23B2260/108 ,  B23B2260/128 ,  B24B49/16

Abstract: 本发明公开一种加工装置，包括加工部、致动器、壳、预载荷机构、力传感器和检测单元。加工部包括切割刃。致动器被配置为使加工部轻微地振动。壳被配置为容纳致动器。预载荷机构设置在壳内并被配置为向致动器施加预载荷。力传感器设置在切割刃和预载荷机构之间。检测单元基于力传感器的输出检测加工部的切割力。本发明能够以高精度检测切割力，并且能够以高精度在工件表面上形成微型和复杂的三维图案。

公开(公告)号：CN101456142B

公开(公告)日：2011-01-12

申请号：CN200810188113.3

申请日：2008-12-12

Applicant: 株式会社东北宏桥技术 ,  索尼株式会社

Inventor： 高伟 ,  卢泳辰 ,  荒井义和 ,  小田桐广和

IPC: B23Q17/09

CPC classification number: B24B1/04 ,  B23B29/125 ,  B23B2226/31 ,  B23B2260/108 ,  B23B2260/128 ,  B24B49/16

Abstract: 本发明公开一种加工装置，包括加工部、致动器、壳、预载荷机构、力传感器和检测单元。加工部包括切割刃。致动器被配置为使加工部轻微地振动。壳被配置为容纳致动器。预载荷机构设置在壳内并被配置为向致动器施加预载荷。力传感器设置在切割刃和预载荷机构之间。检测单元基于力传感器的输出检测加工部的切割力。本发明能够以高精度检测切割力，并且能够以高精度在工件表面上形成微型和复杂的三维图案。