公开(公告)号：CN101678533A

公开(公告)日：2010-03-24

申请号：CN200880010099.6

申请日：2008-03-25

Applicant: 株式会社东京钻石工具制作所 ,  丰田自动车株式会社

Inventor： 吉田雄二 ,  江田弘 ,  周立波 ,  剑持匡昭 ,  田代芳章 ,  神谷纯生 ,  岩濑久雄 ,  山下辉树 ,  小竹登

IPC: B24D3/02 ,  B24D3/00 ,  B24D3/28 ,  H01L21/304

CPC classification number: B24D3/28 ,  B24B37/24 ,  B24B37/245 ,  B24D3/32

Abstract: 本发明提供在硅晶片的磨削加工中使用的合成磨石，该合成磨石是含有作为磨粒的氧化铈微粒、作为结合剂的树脂、作为填充剂的盐类和作为添加剂的纳米金刚石的结构体，其特征在于：上述氧化铈的纯度为60重量％以上，作为填充剂的盐类的含有率在1％以上20％以下的范围，作为添加剂的纳米金刚石的含有率相对于结构全体的体积含有率在0.1％以上、低于20％的范围，且气孔率相对于结构全体，体积含有率在低于30％的范围。

公开(公告)号：CN101678533B

公开(公告)日：2011-11-16

申请号：CN200880010099.6

申请日：2008-03-25

Applicant: 株式会社东京钻石工具制作所 ,  丰田自动车株式会社

Inventor： 吉田雄二 ,  江田弘 ,  周立波 ,  剑持匡昭 ,  田代芳章 ,  神谷纯生 ,  岩濑久雄 ,  山下辉树 ,  小竹登

IPC: B24D3/02 ,  B24D3/00 ,  B24D3/28 ,  H01L21/304

CPC classification number: B24D3/28 ,  B24B37/24 ,  B24B37/245 ,  B24D3/32

Abstract: 本发明提供在硅晶片的磨削加工中使用的合成磨石，该合成磨石是含有作为磨粒的氧化铈微粒、作为结合剂的树脂、作为填充剂的盐类和作为添加剂的纳米金刚石的结构体，其特征在于：上述氧化铈的纯度为60重量％以上，作为填充剂的盐类的含有率在1％以上20％以下的范围，作为添加剂的纳米金刚石的含有率相对于结构全体的体积含有率在0.1％以上、低于20％的范围，且气孔率相对于结构全体，体积含有率在低于30％的范围。