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公开(公告)号：CN115605724A
公开(公告)日：2023-01-13
申请号：CN202180034827.2
申请日：2021-04-28
Applicant: 株式会社东京精密(JP)
Abstract: 提供了一种能够容易地检测出在测量目标的形状测量中出现异常的原因的形状测量设备及其控制方法。本发明涉及：位移检测设备，用于检测触点的位移；相对移动机构，用于使位移检测设备相对于测量目标相对地移动，以允许触点跟踪测量目标的待测表面；位置检测传感器，用于检测位移检测设备相对于测量目标的相对位置；相机，用于捕获接触器的图像，并输出接触器的图像；以及同步控制单元，用于在相对移动机构执行相对移动的同时，允许彼此同步并重复地执行三个动作，该三个动作包括由位置检测传感器检测相对位置、由位移检测设备检测位移、以及由相机捕获图像。
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