薄膜研磨加工装置
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118577881A

    公开(公告)日:2024-09-03

    申请号:CN202410208030.5

    申请日:2024-02-26

    Abstract: 本发明的目的在于提供一种薄膜研磨加工装置,其能够利用研磨薄膜对齿轮形状的矩形的外齿的齿面适当地进行研磨。本发明的薄膜研磨加工装置(加工装置(100))的结构是利用研磨薄膜(170)对齿轮形状的工件(W)的齿面(W2)进行研磨的薄膜研磨加工装置,其具备:工件保持装置(110),其将工件(W)保持为转动自如;齿轮形状的支承工具(140),其隔着研磨薄膜(170)与工件(W)啮合;以及工具旋转用马达(150),其使支承工具(140)旋转,在支承工具(140)旋转时,研磨薄膜(170)被进给,并且使工件(W)从动,从而对工件(W)的齿面(W2)进行研磨。

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