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公开(公告)号:CN102729153A
公开(公告)日:2012-10-17
申请号:CN201210102487.5
申请日:2012-04-09
Applicant: 株式会社不二制作所
CPC classification number: B24C7/0046 , B24C1/08
Abstract: 在通过使用压缩气流将动能施加给研磨剂来实施抛光的方法中获得水平切削力,而作用在工件表面上的垂直切削力得到抑制。不含有研磨剂的压缩气体从加速流产生喷嘴10朝向工件W的表面喷射,以产生沿着工件W的表面的加速流S。并且,研磨剂30被引入到研磨剂引入通道20,研磨剂引入通道20在加速流S产生区域朝向工件W的表面开口,优选地,研磨剂30与压缩气体一起引入到研磨剂引入通道20,以将研磨剂30与加速流S汇合,并使研磨剂30沿着工件W的表面滑动。这样将水平切削力施加到表面。
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公开(公告)号:CN103387334A
公开(公告)日:2013-11-13
申请号:CN201310166835.X
申请日:2013-05-08
Applicant: 株式会社不二制作所
Abstract: 本发明提供了一种用于剪裁出硬而易碎的基板的方法及装置,在由硬而易碎的材料制成的板材1上布局基板2并留出用于喷射的空间;在基板2的布局位置处在板材1的两个表面上形成第一保护膜4;在板材1的边缘3的两个表面上形成第二保护膜5并相对于第一保护膜4留出空间,并使第二保护膜5的外边缘距离板材1的外围的宽度为5mm或以下;通过喷射而从板材1的一个表面切割膜4、4之间以及膜4、5之间的区域6至板材1的厚度的约一半的深度,随后从板材1的另一表面切割,直至穿透板材1为止。即使在连续通过喷射进行切割以剪裁出基板2直至穿透由硬而易碎的材料制成的板材1时,本发明也可在不在板材1中产生裂纹的情况下进行剪裁。
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公开(公告)号:CN103659612B
公开(公告)日:2017-06-09
申请号:CN201310382121.2
申请日:2013-08-28
Applicant: 株式会社不二制作所
CPC classification number: B24C1/045 , B24C5/04 , B24C7/0038 , Y02E10/541
Abstract: 为了提供一种允许在无需遮掩的情形下以高精度形成沟槽的通过喷砂划线的方法,使用一种喷砂机和磨料,所述喷砂机包括具有宽度为10μm到500μm且长度为该宽度5倍到5000倍的狭缝状喷射开口的喷嘴,所述磨料的中值直径等于或小于所述喷嘴的喷射开口的宽度的二分之一且其最大粒子直径比所述喷射开口的宽度小;以及,在没有遮掩的条件下以0.1mm到3.0mm的喷射距离将所述磨料连同压缩气体向工件的表面喷射以便所述磨料的喷射数量在喷射压强为0.2MPa到0.6MPa的范围内相对于1000cm3排放气体数量等于或小于0.25cm3。
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公开(公告)号:CN103387334B
公开(公告)日:2016-12-28
申请号:CN201310166835.X
申请日:2013-05-08
Applicant: 株式会社不二制作所
Abstract: 本发明提供了一种用于剪裁出硬而易碎的基板的方法及装置,在由硬而易碎的材料制成的板材1上布局基板2并留出用于喷射的空间;在基板2的布局位置处在板材1的两个表面上形成第一保护膜4;在板材1的边缘3的两个表面上形成第二保护膜5并相对于第一保护膜4留出空间,并使第二保护膜5的外边缘距离板材1的外围的宽度为5mm或以下;通过喷射而从板材1的一个表面切割膜4、4之间以及膜4、5之间的区域6至板材1的厚度的约一半的深度,随后从板材1的另一表面切割,直至穿透板材1为止。即使在连续通过喷射进行切割以剪裁出基板2直至穿透由硬而易碎的材料制成的板材1时,本发明也可在不在板材1中产生裂纹的情况下进行剪裁。
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公开(公告)号:CN102729153B
公开(公告)日:2016-08-03
申请号:CN201210102487.5
申请日:2012-04-09
Applicant: 株式会社不二制作所
CPC classification number: B24C7/0046 , B24C1/08
Abstract: 在通过使用压缩气流将动能施加给研磨剂来实施抛光的方法中获得水平切削力,而作用在工件表面上的垂直切削力得到抑制。不含有研磨剂的压缩气体从加速流产生喷嘴10朝向工件W的表面喷射,以产生沿着工件W的表面的加速流S。并且,研磨剂30被引入到研磨剂引入通道20,研磨剂引入通道20在加速流S产生区域朝向工件W的表面开口,优选地,研磨剂30与压缩气体一起引入到研磨剂引入通道20,以将研磨剂30与加速流S汇合,并使研磨剂30沿着工件W的表面滑动。这样将水平切削力施加到表面。
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公开(公告)号:CN103659612A
公开(公告)日:2014-03-26
申请号:CN201310382121.2
申请日:2013-08-28
Applicant: 株式会社不二制作所
CPC classification number: B24C1/045 , B24C5/04 , B24C7/0038 , Y02E10/541
Abstract: 为了提供一种允许在无需遮掩的情形下以高精度形成沟槽的通过喷砂划线的方法,使用一种喷砂机和磨料,所述喷砂机包括具有宽度为10μm到500μm且长度为该宽度5倍到5000倍的狭缝状喷射开口的喷嘴,所述磨料的中值直径等于或小于所述喷嘴的喷射开口的宽度的二分之一且其最大粒子直径比所述喷射开口的宽度小;以及,在没有遮掩的条件下以0.1mm到3.0mm的喷射距离将所述磨料连同压缩气体向工件的表面喷射以便所述磨料的喷射数量在喷射压强为0.2MPa到0.6MPa的范围内相对于1000cm3排放气体数量等于或小于0.25cm3。
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