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公开(公告)号：CN105636745B
公开(公告)日：2018-07-13
申请号：CN201480056785.2
申请日：2014-09-17
Applicant: 株式会社不二制作所
Abstract: 本发明提供一种喷丸加工方法，其能同时实现防止静电产生效果和增大加工量效果这双方。向设置于喷丸加工装置的喷丸喷嘴(8)以0.06cc/min～150cc/min这种较少的量导入水等液体，使导入的液体与在该喷丸喷嘴(8)内流动的高速的压缩气流或从喷丸喷嘴(8)喷射的高速的压缩气流碰撞而微粒化，将微粒化了的液体与所述压缩气体和研磨材料一起向被加工物(W)喷射。由于使液体微粒化并进行喷射以及使液体的供给量较少，所以使喷射的液体容易蒸发，作业室内的湿度上升而抑制静电的产生，并且通过在蒸发时夺取汽化热来对被加工物进行冷却，抑制因被加工物表面的软化而导致的吸收研磨材料的碰撞能量，从而能够提高加工量(切削量)，因被加工物表面与研磨材料的碰撞产生的发热而导致所述的软化。
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公开(公告)号：CN105636745A
公开(公告)日：2016-06-01
申请号：CN201480056785.2
申请日：2014-09-17
Applicant: 株式会社不二制作所
Abstract: 本发明提供一种喷丸加工方法，其能同时实现防止静电产生效果和增大加工量效果这双方。向设置于喷丸加工装置的喷丸喷嘴(8)以0.06cc/min～150cc/min这种较少的量导入水等液体，使导入的液体与在该喷丸喷嘴(8)内流动的高速的压缩气流或从喷丸喷嘴(8)喷射的高速的压缩气流碰撞而微粒化，将微粒化了的液体与所述压缩气体和研磨材料一起向被加工物(W)喷射。由于使液体微粒化并进行喷射以及使液体的供给量较少，所以使喷射的液体容易蒸发，作业室内的湿度上升而抑制静电的产生，并且通过在蒸发时夺取汽化热来对被加工物进行冷却，抑制因被加工物表面的软化而导致的吸收研磨材料的碰撞能量，从而能够提高加工量(切削量)，因被加工物表面与研磨材料的碰撞产生的发热而导致所述的软化。
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公开(公告)号：CN101740664B
公开(公告)日：2013-10-02
申请号：CN200910224599.6
申请日：2009-11-19
Applicant: 株式会社不二制作所
IPC: H01L31/18 , H01L31/042
CPC classification number: B24C1/04 , B24C1/086 , B24C9/003 , H01L31/022425 , H01L31/0392 , H01L31/186 , Y02E10/50 , Y02P70/521
Abstract: 具体地说，在采用细磨料的精细喷砂中，加工薄膜太阳能电池板等无需对于工件附接和分离掩膜以及清洗步骤。具有开口(22、42)的负压空间(20)和相对负压空间(40)以诸如薄膜太阳能电池板等的工件的运动允许间隔隔开对置，从而沿与工件的移动方向相同的方向面向一侧边。于是，从在负压空间(20)内布置喷射孔(31)的喷枪(30)喷射细磨料，工件相对于喷射孔沿移动方向(T)相对移动，在喷射细磨料时，压缩空气产生具有与工件的相对移动方向基本平行的扩散方向的气流，以进行吹气，因此通过与负压空间(20)和/或者相对负压空间(40)连通的抽吸装置的中间作用，从各负压空间内的空间抽吸并回收喷射的细磨料和切屑。
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公开(公告)号：CN101740664A
公开(公告)日：2010-06-16
申请号：CN200910224599.6
申请日：2009-11-19
Applicant: 株式会社不二制作所
IPC: H01L31/18 , H01L31/042
CPC classification number: B24C1/04 , B24C1/086 , B24C9/003 , H01L31/022425 , H01L31/0392 , H01L31/186 , Y02E10/50 , Y02P70/521
Abstract: 具体地说，在采用细磨料的精细喷砂中，加工薄膜太阳能电池板等无需对于工件附接和分离掩膜以及清洗步骤。具有开口(22、42)的负压空间(20)和相对负压空间(40)以诸如薄膜太阳能电池板等的工件的运动允许间隔隔开对置，从而沿与工件的移动方向相同的方向面向一侧边。于是，从在负压空间(20)内布置喷射孔(31)的喷枪(30)喷射细磨料，工件相对于喷射孔沿移动方向(T)相对移动，在喷射细磨料时，压缩空气产生具有与工件的相对移动方向基本平行的扩散方向的气流，以进行吹气，因此通过与负压空间(20)和/或者相对负压空间(40)连通的抽吸装置的中间作用，从各负压空间内的空间抽吸并回收喷射的细磨料和切屑。
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