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公开(公告)号:CN116249937A
公开(公告)日:2023-06-09
申请号:CN202180066646.8
申请日:2021-09-29
Applicant: 株式会社三养社
IPC: G03F7/004
Abstract: 本发明涉及一种萘二甲酰亚胺磺酸酯衍生物以及包含该萘二甲酰亚胺磺酸酯衍生物的光致产酸剂和光刻胶组合物,更详细地,涉及一种如下的萘二甲酰亚胺磺酸酯衍生物化合物以及包含该萘二甲酰亚胺磺酸酯衍生物化合物的光致产酸剂和光刻胶组合物,所述萘二甲酰亚胺磺酸酯衍生物化合物对i‑线(365nm)波长的光具有优异的吸光度,在有机溶剂中具有高溶解性,并且具有优异的热稳定性,而且表现出良好的产酸率。
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公开(公告)号:CN116670586A
公开(公告)日:2023-08-29
申请号:CN202180087522.8
申请日:2021-12-28
Applicant: 株式会社三养社
IPC: G03F7/004
Abstract: 本发明涉及一种萘二甲酰亚胺的磺酸衍生物以及各自包含该萘二甲酰亚胺的磺酸衍生物的光致产酸剂和光刻胶组合物,更详细地,涉及一种萘二甲酰亚胺的磺酸衍生物化合物以及各自包含该萘二甲酰亚胺的磺酸衍生物化合物的光致产酸剂和光刻胶组合物,其中所述萘二甲酰亚胺的磺酸衍生物化合物对i‑线(365nm)波长的光具有优异的吸收能力,由于在有机溶剂中具有非常高的溶解性,所以非常容易制备聚合性组合物,并且具有优异的热稳定性,而且表现出良好的产酸率。
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