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公开(公告)号：CN119022868A
公开(公告)日：2024-11-26
申请号：CN202410653063.0
申请日：2024-05-24
Applicant: 株式会社三井高科技
Abstract: 本发明涉及一种表面测量装置、处理装置以及表面测量方法。该表面测量装置包括载物台、传感器单元、供应单元和控制单元。该控制单元被构造为执行：第一处理，操作供应单元，使得已经流过内部流动路径的气体从第一至第N喷嘴的吹出孔向下吹出；第二处理，操作载物台和传感器单元中的至少一个，使得在通过第一处理操作供应单元的期间传感器单元扫描测量对象的表面；以及第三处理，基于在传感器单元通过第二处理扫描的期间在第一至第N空气传感器中的每一个中测量的气体的流量来计算第一至第N喷嘴中的每一个与测量对象的表面之间的间隔距离。
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