光学元件的制造方法及光学元件

    公开(公告)号:CN101995590A

    公开(公告)日:2011-03-30

    申请号:CN201010246077.9

    申请日:2010-08-03

    Inventor: 粕谷仁一

    CPC classification number: G02B1/113 G11B7/1374

    Abstract: 本发明使对于功能膜的树脂成形部的密合性和该功能膜的耐热性提高了的情况下保持、同时使耐光性提高。本发明公开了对于由具有脂环式结构的树脂构成的树脂成形部50形成了防反射膜的蓝光拾取用的光学元件的制造方法。在该制造方法中,具备以下工序:对于树脂成形部50,以SiO作为蒸镀源、以规定压力导入O2气、同时通过蒸镀处理形成第1SiO层62的工序,以SiO作为蒸镀源、以比形成第1SiO层的工序还低的压力导入O2气、同时通过蒸镀处理形成第2SiO层64的工序,和氧化第1SiO层62和第2SiO层64的工序。

    光学元件的制造方法及光学元件

    公开(公告)号:CN101995590B

    公开(公告)日:2015-02-25

    申请号:CN201010246077.9

    申请日:2010-08-03

    Inventor: 粕谷仁一

    CPC classification number: G02B1/113 G11B7/1374

    Abstract: 本发明使对于功能膜的树脂成形部的密合性和该功能膜的耐热性提高了的情况下保持、同时使耐光性提高。本发明公开了对于由具有脂环式结构的树脂构成的树脂成形部50形成了防反射膜的蓝光拾取用的光学元件的制造方法。在该制造方法中,具备以下工序:对于树脂成形部50,以SiO作为蒸镀源、以规定压力导入O2气、同时通过蒸镀处理形成第1SiO层62的工序,以SiO作为蒸镀源、以比形成第1SiO层的工序还低的压力导入O2气、同时通过蒸镀处理形成第2SiO层64的工序,和氧化第1SiO层62和第2SiO层64的工序。

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