-
公开(公告)号：CN110603695A
公开(公告)日：2019-12-20
申请号：CN201780090371.5
申请日：2017-06-13
Applicant: 极光先进雷射株式会社
Abstract: 激光装置具有光学元件，该光学元件由CaF2晶体形成，紫外的激光倾斜地入射到光学元件的1个面并进行透射，在内部传播的激光相对于上述面的P偏振成分的电场轴和CaF2晶体的 中包含的1个轴一致。光学元件的制造方法包含以下步骤：针对使CaF2的籽晶在 中包含的1个轴的方向上进行晶体生长而形成的晶锭，将从晶体生长方向向 中包含的与晶体生长方向不同的另一个轴的方向倾斜14.18±5°的范围内的角度后的轴作为切断轴，与切断轴垂直地切断晶锭，由此制造光学元件。
-
公开(公告)号：CN115702528A
公开(公告)日：2023-02-14
申请号：CN202080101915.5
申请日：2020-07-06
Applicant: 极光先进雷射株式会社
Abstract: 气体激光装置(100)具有壳体(30)、窗口保持架(300a、300b)、窗口(31a、31b)和密封部件(400a、400b)。窗口保持架(300a、300b)还包含延伸面(315)，该延伸面(315)位于经由开口(305)向窗口行进的光中的被窗口反射的反射光的反射方向侧，与端面(303)连续地向远离窗口的方向延伸，被照射来自窗口的反射光。线(602)位于以通过反射光在延伸面(315)上的照射位置且与延伸面(315)垂直的基准线为基准使反射光的光轴在反射光在延伸面(315)上的照射位置处对称地折返的位置。线(602)在从延伸面(315)朝向窗口的方向上从窗口的外周侧朝向窗口的中心轴线侧跨越窗口的法线(601)。
-
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115702528B
公开(公告)日：2025-04-15
申请号：CN202080101915.5
申请日：2020-07-06
Applicant: 极光先进雷射株式会社
Abstract: 气体激光装置(100)具有壳体(30)、窗口保持架(300a、300b)、窗口(31a、31b)和密封部件(400a、400b)。窗口保持架(300a、300b)还包含延伸面(315)，该延伸面(315)位于经由开口(305)向窗口行进的光中的被窗口反射的反射光的反射方向侧，与端面(303)连续地向远离窗口的方向延伸，被照射来自窗口的反射光。线(602)位于以通过反射光在延伸面(315)上的照射位置且与延伸面(315)垂直的基准线为基准使反射光的光轴在反射光在延伸面(315)上的照射位置处对称地折返的位置。线(602)在从延伸面(315)朝向窗口的方向上从窗口的外周侧朝向窗口的中心轴线侧跨越窗口的法线(600)。
-
公开(公告)号：CN113287234B
公开(公告)日：2023-08-01
申请号：CN201980088640.3
申请日：2019-02-20
Applicant: 极光先进雷射株式会社
Inventor： 手井大辅
IPC: H01S3/036
Abstract: 气体激光装置也可以具备：腔，该腔内被封入激光气体；窗，其设置于腔，且供激光透射；光路管，其包围腔的设置有窗的位置而与腔连接；气体供给口，其向光路管内供给吹扫气体；排气口，其排出光路管内的气体；以及控制部，排气口包括主排气口和副排气口，该主排气口以使气体在窗的表面流动的方式设置于光路管，该副排气口在光路管内的比设置有窗的位置及设置有主排气口的位置靠气体流动的上游侧设置于光路管，控制部在从腔出射激光之前使气体从主排气口排出，在从腔出射激光的至少部分期间内，使气体从副排气口排出。
-
公开(公告)号：CN110603695B
公开(公告)日：2022-03-15
申请号：CN201780090371.5
申请日：2017-06-13
Applicant: 极光先进雷射株式会社
Abstract: 激光装置具有光学元件，该光学元件由CaF2晶体形成，紫外的激光倾斜地入射到光学元件的1个面并进行透射，在内部传播的激光相对于上述面的P偏振成分的电场轴和CaF2晶体的 中包含的1个轴一致。光学元件的制造方法包含以下步骤：针对使CaF2的籽晶在 中包含的1个轴的方向上进行晶体生长而形成的晶锭，将从晶体生长方向向 中包含的与晶体生长方向不同的另一个轴的方向倾斜14.18±5°的范围内的角度后的轴作为切断轴，与切断轴垂直地切断晶锭，由此制造光学元件。
-
公开(公告)号：CN113287234A
公开(公告)日：2021-08-20
申请号：CN201980088640.3
申请日：2019-02-20
Applicant: 极光先进雷射株式会社
Inventor： 手井大辅
IPC: H01S3/036
Abstract: 气体激光装置也可以具备：腔，该腔内被封入激光气体；窗，其设置于腔，且供激光透射；光路管，其包围腔的设置有窗的位置而与腔连接；气体供给口，其向光路管内供给吹扫气体；排气口，其排出光路管内的气体；以及控制部，排气口包括主排气口和副排气口，该主排气口以使气体在窗的表面流动的方式设置于光路管，该副排气口在光路管内的比设置有窗的位置及设置有主排气口的位置靠气体流动的上游侧设置于光路管，控制部在从腔出射激光之前使气体从主排气口排出，在从腔出射激光的至少部分期间内，使气体从副排气口排出。
-
公开(公告)号：CN212751392U
公开(公告)日：2021-03-19
申请号：CN202021761396.9
申请日：2020-08-21
Applicant: 极光先进雷射株式会社
Inventor： 手井大辅
Abstract: 本申请实施例提供一种气体激光装置以及曝光系统，包括：腔室、第1部件、第2部件、光学元件、第1固定件和第2固定件；第1固定件使所述第1部件、所述第2部件以及所述光学元件一起紧固并且固定在输出部；所述第2部件具有供所述第1部件的一部分露出的切口部，所述第2固定件从所述切口部对所述第1部件进行紧固并固定在所述输出部。由此，施加给光学元件的应力较小，从而抑制在光学元件上的变形，可以改善通过光学元件的激光的波面。
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
8
records
(took 0.034 seconds)
