公开(公告)号：CN102748941A

公开(公告)日：2012-10-24

申请号：CN201210113436.2

申请日：2012-04-17

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 领木直矢 ,  关口大好 ,  岩上祐司

IPC: F27B9/04

CPC classification number: F28D21/0001 ,  F28D2021/0056 ,  F28F13/06

Abstract: 本发明提供一种不需要多余的空间和追加的热源而对保护气进行预热，实现与被处理物接触的气体的温度的均匀化，且能够抑制热处理不均的热处理装置。供给保护气的气体供给管(19)具备内侧管(27)和外侧管(28)，内侧管(27)具有气体喷出口(30)，外侧管(28)设置在内侧管(27)的外侧且具有气体喷出口(31)，在将气体喷出口(30)的轮廓向外侧管(28)的内壁面垂直投影时的投影图中，气体喷出口(30)与气体喷出口(31)不重叠，由此，从炉体外部向内侧管(27)导入的保护气在通过内侧管(27)的内部、及内侧管(27)与外侧管(28)的间隙的期间被炉内温度预热。其结果是，将均匀的温度的保护气向被处理物(11)供给。

公开(公告)号：CN102748941B

公开(公告)日：2015-04-29

申请号：CN201210113436.2

申请日：2012-04-17

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 领木直矢 ,  关口大好 ,  岩上祐司

IPC: F27B9/04

CPC classification number: F28D21/0001 ,  F28D2021/0056 ,  F28F13/06

Abstract: 本发明提供一种不需要多余的空间和追加的热源而对保护气进行预热，实现与被处理物接触的气体的温度的均匀化，且能够抑制热处理不均的热处理装置。供给保护气的气体供给管(19)具备内侧管(27)和外侧管(28)，内侧管(27)具有气体喷出口(30)，外侧管(28)设置在内侧管(27)的外侧且具有气体喷出口(31)，在将气体喷出口(30)的轮廓向外侧管(28)的内壁面垂直投影时的投影图中，气体喷出口(30)与气体喷出口(31)不重叠，由此，从炉体外部向内侧管(27)导入的保护气在通过内侧管(27)的内部、及内侧管(27)与外侧管(28)的间隙的期间被炉内温度预热。其结果是，将均匀的温度的保护气向被处理物(11)供给。